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1. (WO2018181105) ヒータ管の気体リーク検出装置及びヒータ管の気体リーク検出方法

Pub. No.:    WO/2018/181105    International Application No.:    PCT/JP2018/011993
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 27 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01M 3/26
H05B 3/78
Applicants: SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
芝浦メカトロニクス株式会社
Inventors: YOKOI Masataka
横井 正孝
KOBAYASHI Nobuo
小林 信雄
FURUYA Masaaki
古矢 正明
KINASE Atsushi
木名瀬 淳
Title: ヒータ管の気体リーク検出装置及びヒータ管の気体リーク検出方法
Abstract:
【課題】微細穴が形成されたヒータ管からの気体のリークを確実に検出することのできるヒータ管の気体リーク検出装置及びヒータ管の気体リーク検出方法を提供することである。 【解決手段】実施形態によれば、ヒータ体を収容した内管10aと、この内管を包囲して密閉された外管10bとを備え、配管30を介して圧力調整機構20により外管10bと内管10aとの間の空間の気体圧力が所定圧力値に調整される、ヒータ管10の気体リーク検出装置であって、配管30に設けられ、局所的に気体を流れ難くさせる気体流れ抵抗部21(213)と、配管30における気体流れ抵抗部21とヒータ管10との間において外管10bと内管10aとの間の空間の気体圧力を検出する圧力検出ユニット23と、圧力検出ユニット23にて得られる検出圧力値に基づいてヒータ管10から気体がリークしているか否かを判定するリーク判定手段50と、を有する。