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1. (WO2018180794) ガス検知方法、ガス検知システム及びガス脱離方法

Pub. No.:    WO/2018/180794    International Application No.:    PCT/JP2018/011090
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 21 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 5/02
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: MOCHIZUKI, Fumihiko
望月 文彦
SANO, Takahiro
佐野 貴洋
TAKAKU, Koji
高久 浩二
AIKI, Yasuhiro
相木 康弘
Title: ガス検知方法、ガス検知システム及びガス脱離方法
Abstract:
固定された支持体と、第1電極2と誘電体センサ3と第2電極4とガス吸着膜5とをこの順に有するガス検知素子を用いるガス検知方法であって、 第1電極1と第2電極3の電極間に、誘電体センサ3を共振駆動させる第1信号を印加し、上記ガス吸着膜に吸着したガスを検知する工程、 ガスの検知後、上記電極間に第2信号を印加することにより上記誘電体センサ3を加熱して、上記ガス吸着膜に吸着されたガスを脱離させる工程と を含むガス検知方法、この方法を実施可能なガス検知システム、及びこのガス検知方法に適用するのに好適なガス脱離方法。