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1. (WO2018180793) ガス検知素子及びその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/180793    International Application No.:    PCT/JP2018/011089
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 21 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 5/02
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: AIKI, Yasuhiro
相木 康弘
MOCHIZUKI, Fumihiko
望月 文彦
TAKAKU, Koji
高久 浩二
Title: ガス検知素子及びその製造方法
Abstract:
ガス吸着層に吸着したガスの質量により共振周波数の変化を生じる共振式センサーと、ガス吸着層と、ガス分子を分子サイズに基づき選択的に透過するフィルター層とをこの順に積層してなるガス検知素子、及びその製造方法。