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1. (WO2018180765) テクスチャ構造の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/180765    International Application No.:    PCT/JP2018/011028
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 21 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 27/146
H01L 31/0236
H01L 31/10
H01L 33/06
H01L 33/22
Applicants: NEC CORPORATION
日本電気株式会社
Inventors: TANAKA Tomo
田中 朋
OHKOUCHI Shunsuke
大河内 俊介
Title: テクスチャ構造の製造方法
Abstract:
簡素にテクスチャ構造を得ることが可能なテクスチャ構造の製造方法を提供する。テクスチャ構造の製造方法は、基材の一主表面に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、上記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、上記基材及び上記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して上記光散乱体の表面を露出させる。