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1. (WO2018180449) 継手ブロックおよびこれを用いた流体制御装置

Pub. No.:    WO/2018/180449    International Application No.:    PCT/JP2018/009650
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 14 00:59:59 CET 2018
IPC: F16K 27/00
H01L 21/3065
H01L 21/31
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED
株式会社フジキン
Inventors: KUDO Shotaro
工藤 翔太郎
DOYA Hidehiro
堂屋 英宏
Title: 継手ブロックおよびこれを用いた流体制御装置
Abstract:
【課題】流体の供給流量を減少させることなく、より一層の小型化、集積化された流体制御装置に適した継手ブロックを提供する。 【解決手段】上流側および下流側開口部51d,51eを有するメイン流路51と、第1および第2の開口部52c,52dが、長手方向において、上流側および下流側開口部51d,51eの間に配置されたサブ流路52A,52Bと、一端部がメイン流路51に接続され他端部が上面で開口しかつ、長手方向において、サブ流路52Bの第2の開口部52dと下流側開口部51eとの間で開口する開口部53aとを有する接続流路53とを有し、メイン流路51は、上面視において、サブ流路52A,52Bおよび接続流路53と一部が重複するように配置されている。