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1. (WO2018180329) 試料保持具

Pub. No.:    WO/2018/180329    International Application No.:    PCT/JP2018/008942
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/683
H02N 13/00
Applicants: KYOCERA CORPORATION
京セラ株式会社
Inventors: HORI, Youhei
堀 陽平
Title: 試料保持具
Abstract:
本開示の試料保持具10は、セラミックス材料を有し、一方の主面に試料保持面11を有する絶縁基板1と、該絶縁基板1の他方の主面に設けられた発熱抵抗体2と、前記絶縁基板1の前記他方の主面を覆う接着層4と、該接着層4を介して前記絶縁基板1の他方の主面に設けられた金属部材3とを備えており、前記接着層4は、前記絶縁基板1に接する第1層41と、前記金属部材3に接する第2層42とを有しており、該第2層42は前記第1層41よりも弾性率が低いとともに、前記第1層41と前記金属部材3との間に位置する層状部と、前記第1層41を囲む環状部とを有している。