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1. (WO2018180241) 光検出装置

Pub. No.:    WO/2018/180241    International Application No.:    PCT/JP2018/008301
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 06 00:59:59 CET 2018
IPC: G01J 1/04
H01L 31/02
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: HIROSE Masaki
廣瀬 真樹
SHIBAYAMA Katsumi
柴山 勝己
KASAHARA Takashi
笠原 隆
KAWAI Toshimitsu
川合 敏光
OYAMA Hiroki
大山 泰生
KURAMOTO Yumi
蔵本 有未
Title: 光検出装置
Abstract:
光検出装置は、光を入射させる開口が形成されたパッケージと、開口を塞ぐようにパッケージの内面に配置された光透過部と、パッケージ内に配置され、光透過部を透過した光を透過させるファブリペロー干渉フィルタと、パッケージ内に配置され、ファブリペロー干渉フィルタを透過した光を検出する光検出器と、を備える。光透過部は、パッケージ内に配置され、ファブリペロー干渉フィルタに入射させる光を透過させるバンドパスフィルタと、ファブリペロー干渉フィルタに入射させる光を集光するレンズ部と、を含んで一体的に構成されている。