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1. (WO2018180049) 感放射線性組成物及びレジストパターン形成方法

Pub. No.:    WO/2018/180049    International Application No.:    PCT/JP2018/006324
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 22 00:59:59 CET 2018
IPC: G03F 7/039
C08F 220/18
C08L 33/10
G03F 7/004
G03F 7/20
Applicants: JSR CORPORATION
JSR株式会社
Inventors: MARUYAMA Ken
丸山 研
Title: 感放射線性組成物及びレジストパターン形成方法
Abstract:
本発明は、感度及びLWR性能に優れる感放射線性組成物の提供を目的とする。本発明は、酸解離性基を有する第1構造単位を有する重合体と、放射線の照射により第1酸を発生する第1化合物と、放射線の照射により第2酸を発生する第2化合物とを含有し、上記第1酸は110℃、1分の条件で上記酸解離性基を実質的に解離させず、かつ上記第2酸は110℃、1分の条件で上記酸解離性基を解離させるものであり、下記条件(1)及び条件(2)のうち少なくとも1つを満たす感放射線性組成物である。 (1)上記重合体が1価のヨウ素原子を含む (2)上記第1化合物及び第2化合物以外の化合物であって、1価のヨウ素原子を含む第3化合物をさらに含有する