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1. (WO2018180018) 基板処理装置、基板処理方法およびプログラム記録媒体

Pub. No.:    WO/2018/180018    International Application No.:    PCT/JP2018/005987
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 21 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/304
H01L 21/683
Applicants: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
株式会社SCREENホールディングス
Inventors: NISHIDA, Takayuki
西田 崇之
ISHII, Junichi
石井 淳一
Title: 基板処理装置、基板処理方法およびプログラム記録媒体
Abstract:
基板処理装置は、基板のブラシ洗浄を行う。基板処理装置は、回転軸線の周りで回転可能に設けられたスピンベースと、前記スピンベースを回転させるスピンベース回転機構と、開状態と閉状態とに切替可能であり、閉状態において基板の端部を側面から挟持可能に構成されており、前記スピンベースに設けられた複数の第1チャックピンとを備えている。前記複数の第1チャックピンの各々は、前記基板の端部を挟持した閉状態において、その上面が前記基板の上面と同じまたは低い高さとなるように構成されている。