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1. (WO2018179999) 気化器
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国際公開番号: WO/2018/179999 国際出願番号: PCT/JP2018/005866
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 20.02.2018
IPC:
H01L 21/31 (2006.01) ,C23C 16/448 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
31
半導体本体上への絶縁層の形成,例.マスキング用またはフォトリソグラフィック技術の使用によるもの;これらの層の後処理;これらの層のための材料の選択
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
44
被覆の方法に特徴のあるもの
448
反応性ガス流を発生させるために用いる方法に特徴があるもの,例.先行する材料の蒸発または昇華によるもの
出願人:
日立金属株式会社 HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 東京都港区港南一丁目2番70号 2-70, Konan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1088224, JP
発明者:
佐々木 章 SASAKI Akira; JP
吉田 善紀 YOSHIDA Yoshinori; JP
代理人:
特許業務法人プロスペック特許事務所 PROSPEC PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中村区太閤三丁目1番18号 名古屋KSビル12階 12th Floor, NAGOYA-KS Building, 1-18, Taiko 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4530801, JP
優先権情報:
2017-06515429.03.2017JP
発明の名称: (EN) VAPORIZER
(FR) VAPORISATEUR
(JA) 気化器
要約:
(EN) This vaporizer has a configuration in which a first support member fixed to a cabinet is provided, a flow rate measuring means is supported by the first support member, and a heater plate is supported by the first support member between the flow rate measuring means and a detachable surface which is a removable surface of the cabinet. Preferably, one or more heat transfer members transmitting heat from the heater plate to a conduit re further provided. When it is difficult to support a valve for starting and stopping the supply of a gas generated in a tank by the conduit, the valve is preferably fixed to the cabinet by a member with which heat transfer is difficult. Thus, the present invention provides a vaporizer in which even when the width is narrowed or a plurality of gas supply lines are provided, the flow rate measuring means can be easily separated or reinstalled for the purpose of inspection or repair.
(FR) La présente invention concerne un vaporisateur ayant une configuration dans laquelle un premier élément de support fixé à un boîtier est prévu, un moyen de mesure de débit est supporté par le premier élément de support, et une plaque chauffante est supportée par le premier élément de support entre le moyen de mesure de débit et une surface amovible qui est une surface amovible du boîtier. De préférence, un ou plusieurs éléments de transfert de chaleur transmettant de la chaleur de la plaque chauffante à un conduit sont également fournis. Lorsqu'il est difficile de supporter une soupape pour démarrer et arrêter l'alimentation d'un gaz généré dans un réservoir par le conduit, la soupape est de préférence fixée à le boîtier par un élément avec lequel le transfert de chaleur est difficile. Ainsi, la présente invention concerne un vaporisateur dans lequel même lorsque la largeur est rétrécie ou une pluralité de lignes d'alimentation en gaz sont fournies, le moyen de mesure de débit peut être facilement séparé ou réinstallé dans le but d'inspection ou de réparation.
(JA) 気化器は、キャビネットに固定された第1支持部材を有し、流量測定手段が第1支持部材によって支持され、ヒータプレートが第1支持部材によって流量測定手段とキャビネットの取り外し可能な面である脱着面との間によって支持される構成を有する。好ましくは、ヒータプレートから導管に熱を伝える1又は2以上の伝熱部材を更に有する。タンクにおいて発生したガスの供給の開始及び停止を行うバルブを導管によって支持することが困難な場合は、熱を伝達し難い部材によってキャビネットにバルブを固定することが好ましい。これにより、幅を狭くしたり、複数のガス供給ラインを設けたりした場合においても、流量測定手段を点検又は修理の目的で取り外したり、再度取り付けたりする操作を容易に行うことができる気化器を提供する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)