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1. (WO2018179964) 基板収納容器

Pub. No.:    WO/2018/179964    International Application No.:    PCT/JP2018/005296
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 16 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/673
B65D 85/30
Applicants: SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD.
信越ポリマー株式会社
Inventors: OGAWA Osamu
小川 統
TOMINAGA Kiminori
冨永 公徳
Title: 基板収納容器
Abstract:
本発明は、基板(W)を収納可能な容器本体(2)と、容器本体(2)の外部から内部空間に気体(G)を供給可能な給気部材(50)と、を備え、容器本体(2)をフロントオープンボックスに形成し、底面(2f)に給気部材(50)を取付けた基板収納容器(1)であって、給気部材(50)は、内部空間の環境を異なる状態に変更する機能ユニット(U;3R,3L,U1,U2,U3,U4)が、嵌合によって交換可能に接続されているものである。 これにより、内部空間の環境を変化させる機能ユニットを、簡単に交換することができる基板収納容器を提供することができる。