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1. (WO2018179964) 基板収納容器
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/179964 国際出願番号: PCT/JP2018/005296
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 15.02.2018
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/30 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
D
物品または材料の保管または輸送用の容器,例.袋,樽,瓶,箱,缶,カートン,クレート,ドラム缶,つぼ,タンク,ホッパー,運送コンテナ;付属品,閉蓋具,またはその取付け;包装要素;包装体
85
特定の物品または材料に特に適合する容器,包装要素または包装体
30
衝撃または圧力による損傷に特に鋭敏な物品用
出願人:
信越ポリマー株式会社 SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田須田町一丁目9番地 9, Kandasuda-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041, JP
発明者:
小川 統 OGAWA Osamu; JP
冨永 公徳 TOMINAGA Kiminori; JP
代理人:
坂本 智弘 SAKAMOTO Tomohiro; JP
優先権情報:
2017-06181327.03.2017JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
要約:
(EN) The present invention provides a substrate storage container (1) provided with: a container body (2) that can house a substrate (W); and a gas supply member (50) that can supply a gas (G) from the outside of the container body (2) to an internal space, wherein the container body (2) is formed into a front-open box, and the gas supply member (50) is attached to a bottom surface (2f). The gas supply member (50) is configured such that function units (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) for changing the environment of the internal space to a different state are connected so as to be replaceable by being fitted. Thus, a substrate storage container that enables easy replacement of the function units for changing the environment of the internal space can be provided.
(FR) La présente invention concerne un récipient de stockage de substrat (1) comportant : un corps de récipient (2) qui peut loger un substrat (W); et un élément d'alimentation en gaz (50) qui peut fournir un gaz (G) depuis l'extérieur du corps de récipient vers un espace interne, le corps de récipient (2) étant formé dans une boîte à ouverture avant, et l'élément d'alimentation en gaz (50) étant fixé à une surface inférieure (2f). L'élément d'alimentation en gaz (50) est configuré de telle sorte que des unités fonctionnelles (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) pour changer l'environnement de l'espace interne à un état différent sont reliées de façon à être remplaçables en étant ajustées. Ainsi, un récipient de stockage de substrat qui permet un remplacement facile des unités fonctionnelles pour changer l'environnement de l'espace interne peut être fourni.
(JA) 本発明は、基板(W)を収納可能な容器本体(2)と、容器本体(2)の外部から内部空間に気体(G)を供給可能な給気部材(50)と、を備え、容器本体(2)をフロントオープンボックスに形成し、底面(2f)に給気部材(50)を取付けた基板収納容器(1)であって、給気部材(50)は、内部空間の環境を異なる状態に変更する機能ユニット(U;3R,3L,U1,U2,U3,U4)が、嵌合によって交換可能に接続されているものである。 これにより、内部空間の環境を変化させる機能ユニットを、簡単に交換することができる基板収納容器を提供することができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)