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1. (WO2018179904) 金属化フィルムおよびその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/179904    International Application No.:    PCT/JP2018/004601
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Feb 10 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/20
B32B 15/082
C23C 14/02
C23C 14/06
C23C 14/14
C23C 28/02
C25D 5/56
C25D 7/00
H05K 1/03
Applicants: TORAY KP FILMS INC.
東レKPフィルム株式会社
Inventors: FUJI, Nobuo
藤信男
TSUJI, Teruaki
都地輝明
Title: 金属化フィルムおよびその製造方法
Abstract:
物理蒸着法を用いて平滑なフッ素樹脂上に平滑な薄膜銅膜を形成し、かつ、物理蒸着法の種類を適宜選択することによって、フッ素樹脂と銅膜の間で密着強度を確保し、配線形成できる金属化フィルムを提供する。スパッタリングによる金属膜の厚みを最小限にコントロールし、真空蒸着法を組み合わせることで、電解めっきを可能とし、密着強度を安定した配線形成が可能な金属化フィルムを提供する。