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1. (WO2018179890) 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム
Document

明 細 書

発明の名称 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム

技術分野

0001  

背景技術

0002   0003  

先行技術文献

特許文献

0004  

発明の概要

0005   0006   0007   0008   0009   0010   0011   0012   0013   0014  

図面の簡単な説明

0015  

発明を実施するための形態

0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038   0039   0040   0041   0042   0043   0044   0045   0046   0047   0048  

符号の説明

0049  

請求の範囲

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11   12   13   14   15   16   17   18   19   20   21   22   23  

図面

1   2   3   4   5   6   7  

明 細 書

発明の名称 : 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム

技術分野

[0001]
 本発明は、半導体ウエハの検査を行う検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラムに関する。

背景技術

[0002]
 半導体デバイスの製造プロセスにおいては、半導体ウエハ(以下単にウエハと記す)における全てのプロセスが終了した段階で、ウエハに形成されている複数のデバイス(Device Under Test;DUT)について、種々の電気的検査が行われる。このような電気的検査を行う検査システムは、一般的に、ウエハステージとウエハ搬送系を有するとともに、ウエハに形成されたデバイスに接触するプローブを有するプローブカードが装着されるプローバと、デバイスに電気的信号を与え、デバイスの種々の電気特性を検査するためのテスタとを有している。
[0003]
 このような検査システムにおいて、検査は項目ごとおよびDUTごとに行われ、DUTの検査結果、すなわちDUTがPASSであるかNGであるかをウエハマップに表示する技術が知られている(例えば特許文献1)。

先行技術文献

特許文献

[0004]
特許文献1 : 特開2011-210775号公報

発明の概要

[0005]
 ところで、このような検査システムは、デバイスの電気的特性のみならず、DUTとのコンタクト抵抗やリーク電流といった自己診断データを取得し自己診断を行う自己診断機能を有している。テスタの故障に起因して検査結果や自己診断結果が不良(FAIL)になった場合には、この結果からテスタの故障解析を行うことができる。しかし、このようなテスタの故障解析を行う場合、テスタのどの部分が故障しているかをわかりやすく表示する手段がなく、故障解析に時間がかかってしまう。また、故障が生じていなくても故障予知ができれば、故障による装置のダウンタイムを減少させることができるが、テスタの故障予知に関する技術は存在しない。
[0006]
 したがって、本発明は、テスタの故障解析を短時間で行うことができ、故障予知も可能な技術を提供することを課題とする。
[0007]
 本発明の第1の観点によれば、複数のDUTが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のDUTの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のDUTに電気的信号を与え、前記DUTの電気特性を検査するテスタとを備え、前記テスタは、前記複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボードと、前記複数のDUTの検査結果および/または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部、および前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションを有する制御部とを有し、前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および/または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のLSIの各々に紐付けられていることを特徴とする検査システムが提供される。
[0008]
 上記第1の観点において、前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIに対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示する機能、または、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能、または、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIでかつ選択された番号のLSIに対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示する機能を有してもよい。
[0009]
 また、前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有してもよい。
[0010]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画する際に描画をコントロールするウエハマップ描画コントロール部と、前記ウエハマップを描画する際の、各DUTの表示色、DUT数、各DUTとウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、DUTとテスタモジュールボードの番号およびLSI番号との関連付けの情報を記述したウエハマップ描画情報記述部とを有し、前記ウエハマップ描画コントロール部は、前記ウエハマップ描画情報記述部の情報に基づいてウエハマップを描画するように構成することができる。
[0011]
 本発明の第2の観点によれば、複数のDUTが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のDUTの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のDUTに電気的信号を与え、前記DUTの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、ウエハマップを表示するウエハマップ表示器であって、前記複数のDUTの検査結果および/または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部と、前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションとを有し、前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および/または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のLSIの各々に紐付けられていることを特徴とするウエハマップ表示器が提供される。
[0012]
 本発明の第3の観点によれば、複数のDUTが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のDUTの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のDUTに電気的信号を与え、前記DUTの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、前記複数のDUTの検査結果および/または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示部に表示するウエハマップ表示方法であって、前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するにあたり、前記検査結果および/または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分を、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のLSIの各々に紐付けし、前記ウエハマップに示された前記検査結果および/または前記自己診断結果から前記テスタの故障解析または故障予知を行うことを特徴とするウエハマップ表示方法が提供される。
[0013]
 本発明の第4の観点によれば、複数のDUTが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のDUTの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のDUTに電気的信号を与え、前記DUTの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、表示部に前記複数のDUTの検査結果および/または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示するコンピュータプログラムであって、前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションを有し、前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および/または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のLSIの各々に紐付けられていることを特徴とするコンピュータプログラムが提供される。
[0014]
 本発明によれば、ウエハマップにおける複数のDUTの各々の表示部分が、複数のテスタモジュールボードに搭載された複数のLSIの各々に紐付けられているので、所定の検査および/またはテスタの自己診断においてテスタ起因のFAILが生じた場合に、テスタの故障箇所を視覚的に把握することができ、故障解析の時間短縮および工数の削減を実現することができる。また、ウエハマップにテスタ構成を反映させるだけでなく、所定の検査において、検査結果および/またはテスタの自己診断結果を複数のDUTの各々の表示部分に段階的に表示するので、PASSであってもウエハマップ上で各DUTにおける基準値からの乖離を段階的に表示することができ、検査結果および/または自己診断結果がFAILに近い値のDUTから、故障が起こりやすいテスタ部分を把握して故障予知も行うことができる。しかも、故障予知をウエハマップ表示で視覚的に行うことにより、故障前の問題抽出を迅速に行うことができ、テスタの故障前に迅速に対応することができる。これにより、装置のダウンタイムを短縮することができる。

図面の簡単な説明

[0015]
[図1] 本発明の一実施形態に係る検査システムの概略構成を模式的に示す図である。
[図2] テスタ制御部のハードウェア構成を示す図である。
[図3] テスタ制御部におけるウエハマップ描画機能を示す機能ブロック図である。
[図4] ウエハマップ描画コントロール部により描画したウエハマップの全体を示すものであり、テスタの故障解析を行うために所定の検査を行った結果を示すものである。
[図5] ウエハマップ描画コントロール部により描画したウエハマップにおける、選択されたSlot No.のテスタモジュールボード33に対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示した場合を示す図である。
[図6] ウエハマップ描画コントロール部により描画したウエハマップにおける、選択されたLSI No.のLSIに対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示した場合を示す図である。
[図7] 表示装置であるディスプレイにウエハマップを表示した操作画面の一例を示す図である。

発明を実施するための形態

[0016]
 以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
 <検査システム>
 図1は、本発明の一実施形態に係る検査システムの概略構成を模式的に示す図である。検査システムは、ウエハにおける全てのプロセスが終了した段階で、ウエハに形成されている複数のDUTの電気的検査を行うものである。
[0017]
 図1に示すように、検査システム100は、ウエハ上のデバイスに対してプローブカードのプローブを接触させるプローバ200と、デバイスに電気信号を与えて電気的な検査を行うテスタ300とを有している。
[0018]
 プローバ200は、本体部21と、搬送部22と、プローバ制御部27とを有している。
[0019]
 本体部21は、筐体23と、筐体23の天面を構成し、中央に円形の孔24aが形成されたヘッドプレート24と、ヘッドプレート24の孔24aに対応する位置に取り付けられ、複数のプローブ(接触子)25aを有するプローブカード25と、プローブカード25の下方位置でウエハWを載置し、吸着するステージ(ウエハチャックトップ)26とを有する。ステージ26は、X-Yテーブル機構、Z方向移動機構およびθ方向移動機構(いずれも図示せず)によりX、Y、Z、θ方向に移動可能となっており、ウエハWを所定の検査位置へ位置決めするようになっている。そして、ウエハWを上昇させることにより、プローブカード25のプローブ25aが複数のデバイスの電極に接触するようになっている。
[0020]
 搬送部22は搬送装置(図示せず)を有するとともに、ウエハキャリアおよびプローブカードストッカ(いずれも図示せず)が装着されており、搬送装置により、ウエハキャリアからウエハWをステージ26上に搬送するとともに、プローブカードストッカからプローブカード25をヘッドプレート24の下方に搬送する。
[0021]
 プローバ制御部27は、プローバ200の各構成部を制御する、CPUを有する主制御部と、キーボードやマウス、リモコン等の入力部と、プリンタ等の出力部と、ディスプレイ等の表示部と、制御に必要な情報を記憶する記憶部とを有している。主制御部は、検査に際して、記憶部に処理レシピが記憶された記憶媒体をセットすることにより、記憶媒体から呼び出された処理レシピに基づいてプローバ200に所定の処理動作を実行させる。
[0022]
 テスタ300は、筐体31と、筐体31内の底部に水平に設けられたテスタマザーボード32と、テスタマザーボード32のスロットに立設状態で装着された複数のテスタモジュールボード(スロット)33と、テスタマザーボード32とプローブカード25とを接続するためのコンタクトブロック34と、テスタ制御部35とを有している。
[0023]
 テスタマザーボード32は、コンタクトブロック34を介してプローブカード25に接続される。
[0024]
 テスタモジュールボード33は、種々のテスト項目に応じてウエハWのDUTに電気的信号を与えて検査するものであり、複数の専用のLSIが搭載されている。各テスタモジュールボード33には番号(Slot No.)が付与され、各テスタモジュールボード33のLSIにも番号(LSI No.)が付与されている。LSI No.は、各ボード33の同じ位置のLSIが同じ番号となっている。
[0025]
 コンタクトブロック34は、テスタマザーボード32との間の接続およびプローブカード25との間の接続を、それぞれ複数のコンタクトピン34aおよび34bを介して行う。コンタクトピン34aおよび34bはポゴピンで構成されている。
[0026]
 テスタ制御部35は、本実施形態の中心的な機能を有するものであり、テスタ300の各構成部を制御するコンピュータからなる。図2は、テスタ制御部35のハードウェア構成を示す図である。テスタ制御部35は、主制御部41と、キーボード等の入力装置42と、プリンタ等の出力装置43と、表示装置44と、記憶装置45と、外部インターフェース46と、これらを互いに接続するバス47とを有している。主制御部41は、CPU48、RAM49およびROM50を有している。記憶装置45は、情報を記憶するためのものであり、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体51に記憶された情報を読み取るようになっている。記憶媒体51は特に限定されないが、例えばハードディスク、光ディスク、フラッシュメモリ等が用いられる。制御部35の主制御部41では、CPU48が、RAM49を作業領域として用いて、ROM50または記憶装置45に格納されたプログラムを実行することによりテスタ300の制御が行われる。また、ROM50または記憶装置45に格納された検査結果情報およびテスタ300の自己診断結果(ログデータ)をRAM49に展開して、CPU48のウエハマップ表示機能により、表示装置44に表示されるウエハマップ表示情報を作成する。
[0027]
 なお、上述したプローバ制御部27もテスタ制御部35と同様の構成であり、これらプローバ制御部27およびテスタ制御部35は上位制御部(図示せず)に接続されている。
[0028]
 図3は、テスタ制御部35におけるウエハマップ描画機能を示す機能ブロック図である。テスタ制御部35は、ウエハマップ描画機能を実行するウエハマップ描画アプリケーション60を有しており、ウエハマップ描画アプリケーション60は、ウエハマップ描画コントロール部(ウエハマップコントロールクラス)61と、ウエハマップ描画情報記述部(Wafermap.xml)62と、ウエハマップデータコンテナ63と、表示属性収容部(DrawWaferMapAttr)64とを有する。
[0029]
 ウエハマップ描画コントロール部61は、表示装置に表示されるテスタ特性関連のウエハマップを描画する際の中心的な役割を示すクラスであり、以下の機能を有する。
 (1)ウエハマップデータコンテナ63に格納されたデータをウエハマップとして描画し、表示装置44に表示させる機能
 (2)表示されたウエハマップ上でクリックした座標位置に対応するDUTのDUT No.の検出およびクリック位置のDUTの強調表示する機能
 (3)ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、選択されたSlot No.のテスタモジュールボード33に対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示する機能(Slot No.フォーカス機能)
 (4)ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、選択されたLSI No.のLSIに対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示する機能(LSIフォーカス機能)
[0030]
 ウエハマップ描画情報記述部62は、ウエハマップを描画する際に必要となる、各DUTの表示色、DUT数、各DUTとウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、各DUTとテスタモジュールボードのSlot No.およびLSI No.との関連付けの情報を記述したxmlファイル(Wafermap.xml)である。これらの情報は、ウエハマップ描画コントロール部(ウエハマップコントロールクラス)61をクリエイト(メモリ上に展開)した際に予めロードさせる。
[0031]
 ウエハマップデータコンテナ63は、記憶媒体51またはROM50に収容された検査データおよび/または自己診断データから所定の情報を取得しウエハマップ描画のためのデータとするデータクラスである。また、表示属性収容部64は、ウエハマップの表示属性(DUT強調表示、Slotフォーカス、LSIフォーカス)を収容するデータクラスであり、その設定方法により表示方法を変化させることが可能となる。ウエハマップデータコンテナ63と表示属性収容部64とは、ウエハマップ描画コントロール部61の描画メソッドの引数として与えられるDrawを構成し、ウエハマップ描画コントロール部61は、ウエハマップ描画の際にウエハマップデータコンテナ63および表示属性収容部64からデータを呼び出してウエハマップを描画する。
[0032]
 図4は、ウエハマップ描画コントロール部61により描画したウエハマップの全体を示すものであり、テスタの故障解析を行うために所定の検査、例えば電圧測定を行った結果を示すものである。図4において、一つのマス目が一つのDUTを表しており、各DUTの表示部分がテスタモジュールボード33のLSIに紐付けられている。また、テスタ300による検査結果および/または自己診断結果のデータがDUTごとに示されており、そのデータの基準値からの乖離の程度の違いが異なる色で表示されている。例えば、テスタに故障が生じていないPASSの状態を4段階で示しており、基準値からの乖離が小さく故障の可能性がほとんどないレベル0では緑色(図4では中間の灰色)、それよりも基準値からの乖離が大きくなる順にレベル1、レベル2、レベル3とし、レベル1では水色(図4では薄い灰色)、レベル2では黄色(図4ではドット)、レベル3では赤色(図4では濃い灰色)で表している。レベルが上がるほどFAILに近づき、故障の可能性が高くなる。また、FAILは実際に故障が発生していることを示し、黒で表している。また、図4ではFAILになったDUTの表示部分をクリックすることにより強調表示(枠表示)されていることを示している。
[0033]
 図5は、ウエハマップ描画コントロール部61により描画したウエハマップにおける、選択されたSlot No.のテスタモジュールボード33に対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示した場合(Slot No.フォーカス)を示している。選択されないテスタモジュールボード33に対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果は実際には灰色で表示されるが、図5では便宜上、白色で示している。
[0034]
 図6は、ウエハマップ描画コントロール部61により描画したウエハマップにおける、選択されたLSI No.のLSIに対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示した場合(LSIフォーカス)を示している。選択されないLSI No.のLSIに対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果は実際には灰色で表示されるが、図6では便宜上、白色で示している。なお、LSIフォーカスの場合は、各ボードの同じNo.のLSIに対応するDUTの結果が表示される。
[0035]
 図7は、表示装置であるディスプレイにウエハマップを表示した操作画面の一例を示す図である。図7の操作画面において、「Search UnitName」の下には試験項目が表示され、表示された部分の横をクリックすることにより、複数、例えば20種類以上の検査のうち特定のものを選択することができるようになっており、選択した検査の結果がウエハマップ上に表示される。
[0036]
 また、「Search SLOT」の下にはSlot No.が表示され、表示された部分の横をクリックすることにより、表示するSlot No.を選択することができるようになっており、図5に示すように、選択されたSlot No.のテスタモジュールボードに対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみが表示される。「All」を選択することにより、全てのSlot No.のテスタモジュールボードが選択される。一方、「Search LSI」の下にはLSI No.が表示され、表示された部分の横をクリックすることにより、表示するLSI No.を選択できるようになっており、図6に示すように、選択されたLSI No.のLSIに対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみが表示される。「All」を選択することにより、全てのLSI No.のLSIが選択される。図7は、SlotおよびLSIのいずれも「All」であるため、全てのDUTの検査結果および/または自己診断結果が示されている。なお、図5は、Slot No.として所定のNo.のものが選択され、LSIについては「All」が選択された場合であり、図6は、Slotについては「All」が選択され、LSI No.として所定のNo.のものが選択された場合である。SlotNo.およびLSI No.の両方について所定のNo.のものを選択すると、一つのLSIに対応するDUTの結果のみが表示される。例えば、Slot.No.として「2」を選択し、LSI No.として「3」を選択すると、2番目のテスタモジュールボードの3番目のLSIに対応するDUTの結果のみが表示される。
[0037]
 また、図7では、黒色のFAILとなったDUTをクリックした状態を示しているが、特定のDUTをクリックすることにより、上述したように、そのDUTが強調表示されるとともに、クリックされたDUTの番号およびすべての検査結果および/または自己診断結果が表示されるようになっている。
[0038]
 <検査システムの動作>
 このように構成された検査システム100においては、プローバ200の搬送部22によりプローブカード25を装着し、次いで搬送部22によりキャリア内のウエハWをステージ26上に搬送し、ウエハWをステージ26上に真空吸着した状態で、ウエハWに対してテスタ300により、電気的検査を行う。このとき、プローブカード25はコンタクトブロック34を介してテスタマザーボード32に電気的に接続されている。
[0039]
 検査または自己診断に際しては、ステージ26を上昇させてプローブカード25のプローブ25aをウエハWの各DUTに接触させる。そして、テスタモジュールボード33からの電気信号が、マザーボード32、コンタクトブロック34、プローブカード25を経てウエハWの各DUTに至り、さらにDUTからプローブカード25、コンタクトブロック34、テスタマザーボード32を経てテスタモジュールボード33に戻る。これにより各DUTの電気的特性の検査、および自己診断が実施される。
[0040]
 具体的には、テスタ300からウエハ上のDUTに対して、電圧、電流、ロジック波形等を出力し、デバイスからの電圧、電流、ロジック波形を測定し、DUTのPASSおよびNGを判断する。また、プローブとDUTのコンタクト抵抗やリーク電流といった自己診断項目の測定を実施し、PASSおよびNGを判断する。そして、それらの結果をウエハマップに表示する。
[0041]
 また、このような検査した電気特性および/または自己診断結果によりテスタ300の故障解析を行うことができる。本実施形態では、テスタ300の構成を加味したウエハマップを作成し、ウエハマップ上の個々のDUTの表示部分にテスタ300による検査結果および/または自己診断結果を表示できるようにし、その結果に基づいて故障解析をできるようにした。
[0042]
 具体的には、ウエハマップには、テスタ300による検査結果および/または自己診断結果のデータがDUTごとに表示されており、各DUTの表示部分がテスタモジュールボード33のLSIに紐づけられ、かつ、DUTごとに示されるテスタ300による検査結果および/または自己診断結果のデータが、そのデータの基準値からの乖離の程度を色分けして示している。このため、あるDUTがFAILになった場合に、複数のテスタモジュールボード33のうちどのボードのどのLSIが故障しているかを短時間で解析することができる。
[0043]
 また、DUTの検査結果および/または自己診断結果がFAILになっていないPASSの状態でも、ウエハマップ上で検査結果および/または自己診断結果が基準値からどの程度乖離しているかわかるので、その結果から、複数のテスタモジュールボード33のうちどのボードのどのLSIがFAILに近いかを把握することができ、故障の予知を行うことができる。また、ウエハマップ上でテスタモジュールボード33のLSIに紐づけられた各DUTの検査結果および/または自己診断結果を視覚的に把握することができるので、このような故障の予知を短時間で行うことができる。
[0044]
 さらに、ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、選択されたSlot No.のテスタモジュールボード33に対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示(Slot No.フォーカス)すること、および複数のボード33における所定のLSI No.のLSIに対応するDUTの検査結果および/または自己診断結果のみを表示(LSI No.フォーカス)することにより、例えば、特定のテスタボードモジュールボード33の差し込み不良や、各ボードの特定の番号のLSIの配線不良が原因で、故障または故障に近い状態となっていること等の問題を視覚的に即座に認識することができる。これにより、故障解析または故障予知を極めて短時間で行うことができる。
[0045]
 さらにまた、ウエハマップ表示画面上で特定のDUTの表示部分をクリックすることにより強調表示し、そのDUT番号を特定することができるので、そのDUTに紐付けられたテスタモジュールボード33のLSIを特定することができ、故障したLSIを把握することができる。また、クリックしたDUTの全ての情報を表示することができるので、ある検査項目で問題となったDUTの他の検査履歴も把握することができ、故障解析を詳細に行うことができる。
[0046]
 従来、ウエハマップにDUTのPASS/FAILを表示することは行われていたが、ウエハマップにテスタ構成を反映させることにより、テスタの故障解析を行う技術は従来存在していなかった。本実施形態では、ウエハマップにテスタ構成を反映させるので、所定の検査や自己診断においてテスタ起因のFAILが生じた場合に、テスタの故障箇所を視覚的に把握することができ、故障解析の時間短縮および工数の削減を実現することができる。また、ウエハマップにテスタ構成を反映させるだけでなく、所定の検査において、PASSであってもウエハマップ上で各DUTにおける基準値からの乖離を段階的に表示することができるので、検査結果や自己診断結果がFAILに近い値のDUTから、故障が起こりやすいテスタ部分を把握して故障予知も行うことができる。しかも、故障予知をウエハマップ表示で視覚的に行うことにより、故障前の問題抽出を迅速に行うことができ、テスタの故障前に迅速に対応することができ、装置のダウンタイムを短縮することができる。
[0047]
 さらに、本実施形態では、ウエハマップ描画情報記述部(Wafermap.xml)62に、各DUTの表示色、DUT数、各DUTとウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、各DUTとテスタのSlot No.およびLSI No.との関連付け情報が記述され、これによりウエハマップ表示色、DUT数、対応Slot(テスタマザーボード)、対応LSI等を定義している。このため、ウエハマップの表示色の変更、DUT数の変更等に柔軟に対応することが可能であり、リソースの再利用性が高い。これにより、ソフトウェア開発の工数を削減することができる。
[0048]
 <他の適用>
 なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、本発明の思想の範囲内において種々変形可能である。例えば、上記実施の形態において、ソフトウェアは一例にすぎず、テスタ構成と関連づけたウエハマップを表示できれば上記実施の形態に限るものではない。また、検査システムの構成も上記実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態では、テスタ制御部の表示装置にウエハマップを表示させる構成を示したが、ウエハマップ表示機能だけを外部のPC等に組み込み、外部のPC等に同様のウエハマップを表示させてもよい。また、検査システムが複数のプローバおよび複数のテスタを含んでいてもよい。

符号の説明

[0049]
 21;本体部、22;搬送部、23;筐体、24;ヘッドプレート、25;プローブカード、25a;プローブ、26;ステージ(ウエハチャックトップ)、27;プローバ制御部、31;筐体、32;テスタマザーボード、33;テスタモジュールボード(Slot)、34;コンタクトブロック、35;テスタ制御部、41;主制御部、42;入力装置、43;出力装置、44;表示装置、45;記憶装置、48;CPU、49;RAM、50;ROM、51;記憶媒体、60;ウエハマップ描画アプリケーション、61;ウエハマップ描画コントロール部(ウエハマップコントロールクラス)、62;ウエハマップ描画情報記述部(Wafermap.xml)、63;ウエハマップデータコンテナ、64;表示属性収容部(DrawWaferMapAttr)、100;検査システム、200;プローバ、300;テスタ

請求の範囲

[請求項1]
 複数のDUTが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のDUTの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、
 前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のDUTに電気的信号を与え、前記DUTの電気特性を検査するテスタと
を備え、
 前記テスタは、前記複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボードと、
 前記複数のDUTの検査結果および/または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部、および前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションを有する制御部とを有し、
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および/または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のLSIの各々に紐付けられていることを特徴とする検査システム。
[請求項2]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項1に記載の検査システム。
[請求項3]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項1に記載の検査システム。
[請求項4]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIでかつ選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項1に記載の検査システム。
[請求項5]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップ上で選択されたDUTのDUT番号を検出し、選択されたDUTを強調表示する機能を有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の検査システム。
[請求項6]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、
 前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画する際に描画をコントロールするウエハマップ描画コントロール部と、
 前記ウエハマップを描画する際の、各DUTの表示色、DUT数、各DUTとウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、DUTとテスタモジュールボードの番号およびLSI番号との関連付けの情報を記述したウエハマップ描画情報記述部とを有し、
 前記ウエハマップ描画コントロール部は、前記ウエハマップ描画情報記述部の情報に基づいてウエハマップを描画することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査システム。
[請求項7]
 複数のDUTが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のDUTの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のDUTに電気的信号を与え、前記DUTの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、ウエハマップを表示するウエハマップ表示器であって、
 前記複数のDUTの検査結果および/または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部と、
 前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションとを有し、
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および/または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のLSIの各々に紐付けられていることを特徴とするウエハマップ表示器。
[請求項8]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項7に記載のウエハマップ表示器。
[請求項9]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項7に記載のウエハマップ表示器。
[請求項10]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIでかつ選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項7に記載のウエハマップ表示器。
[請求項11]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップ上で選択されたDUTのDUT番号を検出し、選択されたDUTを強調表示する機能を有することを特徴とする請求項7から請求項10のいずれか1項に記載のウエハマップ表示器。
[請求項12]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、
 前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画する際に描画をコントロールするウエハマップ描画コントロール部と、
 前記ウエハマップを描画する際の、各DUTの表示色、DUT数、各DUTとウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、DUTとテスタモジュールボードの番号およびLSI番号との関連付けの情報を記述したウエハマップ描画情報記述部とを有し、
 前記ウエハマップ描画コントロール部は、前記ウエハマップ描画情報記述部の情報に基づいてウエハマップを描画することを特徴とする請求項7から請求項11のいずれか1項に記載のウエハマップ表示器。
[請求項13]
 複数のDUTが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のDUTの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のDUTに電気的信号を与え、前記DUTの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、前記複数のDUTの検査結果および/または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示部に表示するウエハマップ表示方法であって、
 前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するにあたり、前記検査結果および/または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分を、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のLSIの各々に紐付けし、
 前記ウエハマップに示された前記検査結果および/または前記自己診断結果から前記テスタの故障解析または故障予知を行うことを特徴とするウエハマップ表示方法。
[請求項14]
 前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示することを特徴とする請求項13に記載のウエハマップ表示方法。
[請求項15]
 前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示することを特徴とする請求項13に記載のウエハマップ表示方法。
[請求項16]
 前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIでかつ選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示することを特徴とする請求項13に記載のウエハマップ表示方法。
[請求項17]
 前記ウエハマップ上でDUTを選択し、選択されたDUTのDUT番号を検出し、選択されたDUTを強調表示させることを特徴とする請求項13から請求項16のいずれか1項に記載のウエハマップ表示方法。
[請求項18]
 複数のDUTが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のDUTの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のDUTに電気的信号を与え、前記DUTの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、表示部に前記複数のDUTの検査結果および/または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示するコンピュータプログラムであって、
 前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションを有し、
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および/または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のDUTの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のLSIの各々に紐付けられていることを特徴とするコンピュータプログラム。
[請求項19]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項18に記載のコンピュータプログラム。
[請求項20]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項18に記載のコンピュータプログラム。
[請求項21]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのDUT表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのLSIでかつ選択された番号のLSIに対応するDUTの前記検査結果および/または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項18に記載のコンピュータプログラム。
[請求項22]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップ上で選択されたDUTのDUT番号を検出し、選択されたDUTを強調表示する機能を有することを特徴とする請求項18から請求項21のいずれか1項に記載のコンピュータプログラム。
[請求項23]
 前記ウエハマップ描画アプリケーションは、
 前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画する際に描画をコントロールするウエハマップ描画コントロール部と、
 前記ウエハマップを描画する際の、各DUTの表示色、DUT数、各DUTと前記ウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、各DUTとテスタモジュールボードの番号およびLSI番号との関連付けの情報を記述したウエハマップ描画情報記述部とを有し、
 前記ウエハマップ描画コントロール部は、前記ウエハマップ描画情報記述部の情報に基づいてウエハマップを描画することを特徴とする請求項18から請求項22のいずれか1項に記載のコンピュータプログラム。

図面

[ 図 1]

[ 図 2]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]

[ 図 6]

[ 図 7]