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1. (WO2018179807) 感放射線樹脂組成物および電子部品
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国際公開番号: WO/2018/179807 国際出願番号: PCT/JP2018/003203
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 31.01.2018
IPC:
G03F 7/023 (2006.01) ,C07D 303/28 (2006.01) ,C08G 59/22 (2006.01) ,G03F 7/004 (2006.01) ,G03F 7/075 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
022
キノンジアジド
023
高分子キノンジアジド;高分子添加剤,例.結合剤
C 化学;冶金
07
有機化学
D
複素環式化合物(高分子化合物C08)
303
異項原子として1個の酸素原子のみをもつ3員環を含有する化合物
02
オキシラン環を含有する化合物
12
単結合または二重結合で酸素原子が置換した炭化水素基をもつもの
18
エーテル化された水酸基によるもの
28
オキシラン環を含有するヒドロキシ化合物とのエーテル
C 化学;冶金
08
有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
G
炭素-炭素不飽和結合のみが関与する反応以外の反応によって得られる高分子化合物
59
1分子中に1個より多くのエポキシ基を含有する重縮合物;エポキシ重縮合物と単官能性低分子量化合物との反応によって得られる高分子化合物;エポキシ基と反応する硬化剤または触媒を用いて1分子中に1個より多くのエポキシ基を含有する化合物を重合することにより得られる高分子化合物
18
エポキシ基と反応する硬化剤または触媒を用いて1分子中に1個より多くのエポキシ基を含む化合物を重合することにより得られる高分子化合物
20
用いられたエポキシ化合物に特徴のあるもの
22
ジエポキシ化合物
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
04
クロム酸塩
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
075
シリコン含有化合物
出願人:
日本ゼオン株式会社 ZEON CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内一丁目6番2号 6-2, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1008246, JP
発明者:
藤村 誠 FUJIMURA Makoto; JP
代理人:
杉村 憲司 SUGIMURA Kenji; JP
優先権情報:
2017-06867230.03.2017JP
発明の名称: (EN) RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND ELECTRONIC COMPONENT
(FR) COMPOSITION DE RÉSINE SENSIBLE AUX RAYONNEMENTS ET COMPOSANT ÉLECTRONIQUE
(JA) 感放射線樹脂組成物および電子部品
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a radiation-sensitive resin composition with which it is possible to form a resin film that sufficiently inhibits generation of development residues and that exhibits superior elongation properties. The radiation-sensitive resin composition according to the present invention comprises a cyclic olefin polymer (A-1) having a protonic polar group, a cyclic olefin polymer (A-2) having a protonic polar group, a bifunctional epoxy compound (B), and a radiation-sensitive compound (C), wherein the cyclic olefin polymer (A-1) has a weight average molecular weight of not less than 1,000 but less than 10,000; the cyclic olefin polymer (A-2) has a weight average molecular weight of 10,000-100,000; and the contained amount of the cyclic olefin polymer (A-2) accounts for 5-55 mass% of the total contained amount of the cyclic olefin polymer (A-1) and the cyclic olefin polymer (A-2).
(FR) Le but de la présente invention est de fournir une composition de résine sensible au rayonnement grâce à laquelle il est possible de former un film de résine qui inhibe suffisamment la génération de résidus de développement et qui présente des propriétés d'allongement supérieures. La composition de résine sensible au rayonnement selon la présente invention comprend un polymère d'oléfine cyclique (AF1) ayant un groupe polaire protonique, un polymère d'oléfine cyclique (A-2) ayant un groupe polaire protonique, un composé époxy bifonctionnel (B), et un composé sensible au rayonnement (C), le polymère d'oléfine cyclique (A-1) ayant un poids moléculaire moyen en poids d'au moins 1 000 mais inférieur à 10 000 ; le polymère d'oléfine cyclique (A-2) a un poids moléculaire moyen en poids variant de 10 000 à 100 000 ; et la quantité contenue du polymère d'oléfine cyclique (A-2) représente 5-55 % en masse de la quantité totale contenue du polymère d'oléfine cyclique (AF1) et du polymère d'oléfine cyclique (A-2).
(JA) 本発明は、現像残渣の発生が十分に抑制されていると共に、優れた伸長性を備える樹脂膜を形成可能な感放射線樹脂組成物の提供を目的とする。本発明の感放射線樹脂組成物は、プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体(A-1)、プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体(A-2)、2官能エポキシ化合物(B)、および感放射線化合物(C)を含有し、前記環状オレフィン重合体(A-1)の重量平均分子量が1000以上10000未満であり、前記環状オレフィン重合体(A-2)の重量平均分子量が10000以上100000以下であり、そして、前記環状オレフィン重合体(A-2)の含有量が、前記環状オレフィン重合体(A-1)と前記環状オレフィン重合体(A-2)の合計含有量の5質量%以上55質量%以下である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)