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1. (WO2018179684) 担持量測定装置および担持量測定方法

Pub. No.:    WO/2018/179684    International Application No.:    PCT/JP2018/000843
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Jan 16 00:59:59 CET 2018
IPC: H01M 4/88
G01N 21/3586
H01M 8/10
Applicants: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
株式会社SCREENホールディングス
Inventors: TAKASE Yasuhiro
高瀬 恵宏
NAKANISHI Hidetoshi
中西 英俊
MIZUBATA Minoru
水端 稔
Title: 担持量測定装置および担持量測定方法
Abstract:
金属触媒の担持量測定を精度良く行い得る技術を提供する。担持量測定部50は、Y軸方向に搬送される基材90に発振器52から電磁波を照射し、基材90を透過した電磁波の電界強度を検出することにより、触媒層92における金属触媒の担持量を測定する。担持量測定部50は、触媒層92のY軸方向両側の端部92E,92Eの位置を特定する端部位置特定部6050と、複数の検出素子540が検出した電磁波の電界強度から、端部の位置にて電磁波が回折することにより発生する回折電磁波の強度を除去して、触媒層92における透過位置の各々における担持量を特定する担持量特定部604とを備える。