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1. (WO2018179589) 光走査装置およびその製造方法
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国際公開番号: WO/2018/179589 国際出願番号: PCT/JP2017/043302
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 01.12.2017
IPC:
G02B 26/10 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,B81C 1/00 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
10
走査系
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
C
マイクロ構造装置またはシステムの製造または処理に,特に適合した方法または装置
1
基層中または基層上での装置またはシステムの製造または処理
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
出願人:
三菱電機株式会社 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008310, JP
発明者:
紺野 伸顕 KONNO, Nobuaki; JP
平田 善明 HIRATA, Yoshiaki; JP
伊藤 恭彦 ITO, Takahiko; JP
代理人:
特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.; 大阪府大阪市北区中之島三丁目2番4号 中之島フェスティバルタワー・ウエスト Nakanoshima Festival Tower West, 2-4, Nakanoshima 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300005, JP
優先権情報:
2017-06810530.03.2017JP
発明の名称: (EN) OPTICAL SCANNING DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURE THEREFOR
(FR) DISPOSITIF DE BALAYAGE OPTIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 光走査装置およびその製造方法
要約:
(EN) An optical scanning device (1) comprises a mirror (3) and a driving beam (7). The driving beam (7) includes a piezoelectric part (12). The piezoelectric part (12) is structured with a piezoelectric body (15) divided into a plurality of sections by a plurality of first grooves. The length in the X axis direction of a section in the piezoelectric body (15) decreases as the section approaches the end of the piezoelectric body connected to an anchor (11) and decreases as the section approaches the end of the piezoelectric body connected to a link beam (9).
(FR) La présente invention concerne un dispositif de balayage optique (1) comprenant un miroir (3) et un faisceau d'entraînement (7). Le faisceau d'entraînement (7) comprend une partie piézoélectrique (12). La partie piézoélectrique (12) est structurée au moyen d'un corps piézoélectrique (15) divisé en une pluralité de sections par une pluralité de premières rainures. La longueur dans la direction de l'axe X d'une section dans le corps piézoélectrique (15) diminue à mesure que la section s'approche de l'extrémité du corps piézoélectrique reliée à un ancrage (11) et diminue à mesure que la section s'approche de l'extrémité du corps piézoélectrique reliée à un faisceau de liaison (9).
(JA) 光走査装置(1)は、ミラー(3)と駆動梁(7)とを備えている。駆動梁(7)は、圧電部(12)を備えている。圧電部(12)では、複数の第1溝によって、圧電体(15)が複数に区画されている。アンカー(11)に接続されている一端側に近づくにしたがって、圧電体(15)のX軸方向の長さが短くなるように形成され、リンク梁(9)に接続されている他端側に近づくにしたがって、圧電体(15)のX軸方向の長さが短くなるように形成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)