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1. (WO2018179498) クリーンルーム設備
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国際公開番号: WO/2018/179498 国際出願番号: PCT/JP2017/032934
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 12.09.2017
IPC:
F24F 7/06 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
24
加熱;レンジ;換気
F
空気調節;空気加湿;換気;しゃへいのためのエアカーテンの利用
7
換気
04
ダクト系統をもつもの
06
強制空気循環手段をもつもの,例.扇風機によるもの
出願人:
シンフォニアテクノロジー株式会社 SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 東京都港区芝大門一丁目1番30号 1-30, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058564, JP
発明者:
川口 渚 KAWAGUCHI, Nagisa; JP
竹内 晴紀 TAKEUCHI, Haruki; JP
代理人:
特許業務法人梶・須原特許事務所 KAJI, SUHARA & ASSOCIATES; 大阪府大阪市淀川区西中島5-14-22 リクルート新大阪ビル Recruit Shin Osaka BLDG., 5-14-22, Nishinakajima, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011, JP
優先権情報:
2017-07215231.03.2017JP
発明の名称: (EN) CLEAN ROOM EQUIPMENT
(FR) ÉQUIPEMENT DE SALLE BLANCHE
(JA) クリーンルーム設備
要約:
(EN) Decontamination gas accumulates among a plurality of fan filter units and is difficult to exhaust to outside of clean room equipment. This clean room equipment comprises: a casing in which a plurality of fan filter units each having a fan and a filter are arranged in a predetermined direction; a gas supplying part that supplies gas to the inside of the casing; a gas exhaust part that exhausts the gas supplied from the gas supply part to the outside of the casing; a plurality of circulation flow paths disposed inside a column member forming the casing, the circulation flow paths circulating gas in a space that is more on the downstream side than the fan filter units to a space that is more on the upstream side than the fan filter units; and a gas flow forming part that, separately from the fans, forms a gas flow toward the gas exhaust part side inside the casing.
(FR) Le problème de la présente invention est qu'un gaz de décontamination s'accumule sur une pluralité d'unités de filtre de ventilateur et est difficile à évacuer vers l'extérieur de l'équipement de salle blanche. La solution de la présente invention porte sur un équipement de salle blanche qui comprend : un boîtier dans lequel une pluralité d'unités de filtre de ventilateur ayant chacune un ventilateur et un filtre sont agencées dans une direction prédéterminée ; une partie d'alimentation en gaz qui fournit du gaz à l'intérieur du boîtier ; une partie d'évacuation de gaz qui évacue le gaz fourni depuis la partie d'alimentation en gaz vers l'extérieur du boîtier ; une pluralité de trajets d'écoulement de circulation disposés à l'intérieur d'un élément de colonne formant le boîtier, les trajets d'écoulement de circulation circulant dans un espace qui est plus du côté aval que les unités de filtre de ventilateur vers un espace qui est plus du côté en amont que les unités de filtre de ventilateur ; et une partie de formation d'écoulement de gaz qui, séparément des ventilateurs, forme un écoulement de gaz vers le côté de la partie d'échappement de gaz à l'intérieur du boîtier.
(JA) 除染ガスが複数のファンフィルタユニットの間で滞留し、クリーンルーム設備の外部に排出されにくい。 本発明のクリーンルーム設備は、ファン及びフィルタをそれぞれ有する複数のファンフィルタユニットが所定方向に配列された筐体と、筐体の内部にガスを供給するガス供給部と、ガス供給部から供給されたガスを筐体の外部に排出するガス排出部と、筐体を形成する柱部材の内部に配置され、ファンフィルタユニットより下流側空間のガスをファンフィルタユニットより上流側空間に循環させる複数の循環流路と、ファンとは別に、筐体の内部においてガス排出部側に向かうガス流れを形成するガス流れ形成部とを有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)