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1. (WO2018179382) 感光性樹脂組成物、パターン硬化物の製造方法、硬化物、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品

Pub. No.:    WO/2018/179382    International Application No.:    PCT/JP2017/013729
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/027
G03F 7/40
Applicants: HITACHI CHEMICAL DUPONT MICROSYSTEMS, LTD.
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
Inventors: TSUCHIYA, Etsuharu
土屋 越晴
ENOMOTO, Tetsuya
榎本 哲也
KAWAMORI, Takashi
川守 崇司
SAITO, Nobuyuki
斉藤 伸行
KOIBUCHI, Yukari
鯉渕 由香里
YOSHIZAWA, Atsutaro
吉澤 篤太郎
ASADA, Akira
朝田 皓
Title: 感光性樹脂組成物、パターン硬化物の製造方法、硬化物、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品
Abstract:
(A)重合性の不飽和結合を有するポリイミド前駆体、 (B)脂肪族環状骨格を有する重合性モノマー、 (C)光重合開始剤、及び (D)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。