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1. (WO2018179362) プラズマ発生装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/179362 国際出願番号: PCT/JP2017/013679
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 31.03.2017
IPC:
H05H 1/24 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
出願人:
株式会社FUJI FUJI CORPORATION [JP/JP]; 愛知県知立市山町茶碓山19番地 19 Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686, JP
発明者:
日下 航 KUSAKA, Wataru; JP
代理人:
特許業務法人ネクスト NEXT INTERNATIONAL; 愛知県名古屋市中区錦一丁目11番20号 大永ビルディング7階 7th Floor, Daiei Building, 11-20, Nishiki 1-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
深津 泰隆 FUKATSU, Yasutaka; JP
片岡 友希 KATAOKA, Tomoki; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) PLASMA GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE PLASMA
(JA) プラズマ発生装置
要約:
(EN) This plasma generation device is provided with: a power supply device that supplies power to a plurality of electrodes that are disposed in a reaction chamber; a treatment gas supply device that supplies a treatment gas to the reaction chamber; and a control device that controls the operations of the power supply device and the treatment gas supply device. In the cases where a stop signal is inputted when power is being supplied to the electrodes in a state wherein the reaction chamber is supplied with the treatment gas, the control device controls the operations of the power supply device and the treatment gas supply device in either first operation mode to stop the power supply to the electrodes, and to stop the treatment gas supply to the reaction chamber, or second operation mode to stop the power supply to the electrodes, but to continue supplying the treatment gas to the reaction chamber.
(FR) Ce dispositif de génération de plasma comprend: un dispositif d'alimentation électrique qui fournit de l'énergie à une pluralité d'électrodes qui sont disposées dans une chambre de réaction; un dispositif d'alimentation en gaz de traitement qui fournit un gaz de traitement à la chambre de réaction; et un dispositif de commande qui commande les opérations du dispositif d'alimentation électrique et du dispositif d'alimentation en gaz de traitement. Dans les cas où un signal d'arrêt est entré lorsqu'une puissance est fournie aux électrodes dans un état dans lequel la chambre de réaction est alimentée avec le gaz de traitement, le dispositif de commande commande les opérations du dispositif d'alimentation électrique et du dispositif d'alimentation en gaz de traitement dans un premier mode de fonctionnement pour arrêter l'alimentation électrique des électrodes, et pour arrêter l'alimentation en gaz de traitement dans la chambre de réaction, ou un second mode de fonctionnement pour arrêter l'alimentation électrique vers les électrodes, mais pour continuer à fournir le gaz de traitement à la chambre de réaction.
(JA) 反応室に配設された複数の電極に電力を供給する電力供給装置と、前記反応室に処理ガスを供給する処理ガス供給装置と、前記電力供給装置と前記処理ガス供給装置との作動を制御する制御装置とを備え、前記制御装置が、前記反応室に処理ガスが供給されている状態で前記電極に電力が供給されている際に、停止信号が入力された場合に、前記電極への電力の供給を停止し、前記反応室への処理ガスの供給を停止する第1の作動モードと、前記電極への電力の供給を停止するが、前記反応室に継続して処理ガスを供給する第2の作動モードとの何れかの作動モードで、前記電力供給装置と前記処理ガス供給装置との作動を制御するプラズマ発生装置。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)