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1. (WO2018179353) 基板処理装置およびその表示方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/179353 国際出願番号: PCT/JP2017/013633
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 31.03.2017
IPC:
H01L 21/02 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
出願人:
株式会社KOKUSAI ELECTRIC KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区神田鍛冶町三丁目4番地 3-4, Kandakaji-cho, Chiyoda-ku, TOKYO 1010045, JP
発明者:
守田 修 MORITA, Osamu; JP
山岡 雄治 YAMAOKA, Yuji; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND DISPLAY METHOD FOR SAME
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ D'AFFICHAGE CORRESPONDANT
(JA) 基板処理装置およびその表示方法
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a configuration capable of chronologically displaying an execution schedule for jobs. Provided is a configuration comprising a display unit having an operation screen containing a two-dimensional space in which one axis is the reservation status of each job executed by a device, including a job currently being executed by the device, and the other axis is a predetermined monitoring period. The configuration also comprises a display control unit configured to: acquire various types of information, including the start time and scheduled end time of a job being executed by the device or the scheduled start time and scheduled end time of a job reserved by the device; to calculate the scheduled execution time of the job from the acquired start time and scheduled end time of the job currently being executed and/or the scheduled start time and scheduled end time of the reserved job; and to display a chart on the display unit as an image indicating the job currently being executed and the scheduled execution time of the reserved job.
(FR) Le but de la présente invention est de fournir une configuration capable d'afficher chronologiquement un calendrier d'exécution pour des tâches. L'invention concerne une configuration comprenant une unité d'affichage ayant un écran d'opération contenant un espace bidimensionnel dans lequel un axe est l'état de réservation de chaque tâche exécutée par un dispositif, comprenant une tâche en cours d’exécution par le dispositif, et l'autre axe étant une période de surveillance prédéterminée. La configuration comprend également une unité de commande d'affichage configurée pour : acquérir divers types d'informations, comprenant le temps de début et le temps de fin programmés d'une tâche qui est exécutée par le dispositif ou le temps de début programmé et le temps de fin programmé d'une tâche réservée par le dispositif; pour calculer le temps d'exécution programmé de la tache à partir du temps de début acquis et du temps de fin programmé de la tache en cours d'exécution et/ou du temps de début programmé et du temps de fin programmé de la tache réservée; et pour afficher un graphique sur l'unité d'affichage en tant qu'image indiquant la tâche en cours d'exécution et le temps d'exécution programmé de la tâche réservée.
(JA) ジョブの実行予定を時系列に表示することができる構成を提供することを目的とする。一方の軸を装置で現在実行されているジョブを含む装置で実行される各種ジョブの予約状況、他方の軸を所定の監視期間とした二次元空間を含む操作画面を有する表示部と、装置で実行されているジョブの開始時刻及び終了予定時刻、若しくは、装置で予約されているジョブの開始予定時刻及び終了予定時刻を含む各種情報を取得し、取得された前記現在実行されているジョブの開始時刻及び終了予定時刻、及び/又は、前記予約されているジョブの開始予定時刻及び終了予定時刻から前記ジョブの実行予定時間を算出し、前記現在実行されているジョブ及び前記予約されているジョブの実行予定時間を示す画像として前記表示部にチャート表示させるよう構成されている表示制御部と、を備えた構成が提供される。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)