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1. (WO2018179344) プラズマ表面処理方法およびプラズマ表面処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/179344 国際出願番号: PCT/JP2017/013619
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 31.03.2017
IPC:
B01J 19/08 (2006.01)
B 処理操作;運輸
01
物理的または化学的方法または装置一般
J
化学的または物理的方法,例.触媒,コロイド化学;それらの関連装置
19
化学的,物理的,または物理化学的プロセス一般;それらに関連した装置
08
電気または波動エネルギーあるいは粒子線放射を直接適用したプロセス;そのための装置
出願人: E2LAB CO., LTD.[JP/JP]; 1-210, Sakae 2-chome, Kumiyama-cho, Kuze-gun, Kyoto 6130032, JP
発明者: TAKASHIMA Kenji; JP
代理人: SANO Shogo; JP
KANKAWA Kiyoshi; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) PLASMA SURFACE TREATMENT METHOD AND PLASMA SURFACE TREATMENT APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE SURFACE PAR PLASMA
(JA) プラズマ表面処理方法およびプラズマ表面処理装置
要約:
(EN) [Problem] To provide surface treatment technology capable of performing surface treatment on an object consisting of aggregates of small individual pieces in a manner that is thorough, reliable, and low-cost. [Solution] A spray port 33 for ionized treatment gas is disposed in a tubular passage 21 into which treatment object W is dropped. Spraying the ionized treatment gas into the tubular passage 21 from the spray port 33 forms, in the tubular passage 21, a treatment gas flow orthogonal to the direction in which the tubular passage is disposed. The treatment object W is then introduced through an opening on the upper end of the tubular passage 21, and surface treatment is performed on the treatment object W by bringing the treatment object W into contact with the treatment gas as the treatment object W is falling through the tubular passage 21.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir une technologie de traitement de surface capable de réaliser un traitement de surface sur un objet constitué d'agrégats de petits morceaux individuels d'une manière qui est approfondie, fiable et à faible coût. La Solution selon l'invention porte sur un orifice de pulvérisation 33 pour un gaz de traitement ionisé qui est disposé dans un passage tubulaire 21 dans lequel l'objet de traitement W est lâché. La pulvérisation du gaz de traitement ionisé dans le passage tubulaire 21 depuis l'orifice de pulvérisation 33 forme, dans le passage tubulaire 21, un écoulement de gaz de traitement orthogonal à la direction dans laquelle le passage tubulaire est disposé. L'objet de traitement W est ensuite introduit à travers une ouverture sur l'extrémité supérieure du passage tubulaire 21, et un traitement de surface est effectué sur l'objet de traitement W en amenant l'objet de traitement W en contact avec le gaz de traitement lorsque l'objet de traitement W tombe à travers le passage tubulaire 21.
(JA) 【課題】小さな個体の集合体からなる被処理体に対して、漏れなく確実に、しかも低コストで表面処理を行うことができる表面処理技術を提供する。 【解決手段】被処理体Wを落下させる管状通路21にプラズマ化された処理ガスの噴出口33を配置する。そして、噴出口33からプラズマ化された処理ガスを管状通路21内に噴射することにより、管状通路21内に管状通路の配設方向と交差する向きの処理ガスの流れを形成させる。そして、この状態で管状通路21の上端開口部から被処理体Wを導入し、被処理体Wが管状通路21内を落下する過程で被処理体Wと処理ガスとを接触させて被処理体Wへの表面処理を行う。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)