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1. (WO2018179324) 基板収納容器
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/179324 国際出願番号: PCT/JP2017/013576
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 31.03.2017
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
D
物品または材料の保管または輸送用の容器,例.袋,樽,瓶,箱,缶,カートン,クレート,ドラム缶,つぼ,タンク,ホッパー,運送コンテナ;付属品,閉蓋具,またはその取付け;包装要素;包装体
85
特定の物品または材料に特に適合する容器,包装要素または包装体
86
電気部品用
出願人:
ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都豊島区東池袋1丁目24番1号 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013, JP
発明者:
甲斐 聴子 KAI, Satoko; JP
佐藤 恭兵 SATO, Kyohei; JP
代理人:
正林 真之 SHOBAYASHI, Masayuki; JP
林 一好 HAYASHI, Kazuyoshi; JP
岩池 満 IWAIKE, Mitsuru; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE HOUSING CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE LOGEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
要約:
(EN) At least one of a lateral substrate support portion 5, a back side substrate support portion 6, and a lid body side substrate support portion of this substrate housing container is an interior portion that is attachably/detachably fixed to an inner surface of a container body 2 and is disposed in a substrate housing space. Surface roughening S is performed on parts 53, 251, 255, 256 where members including substrates are brought into contact with each other in the substrate housing space. It is possible to provide a substrate housing container that is able to suppress occurrence of particles and adhesion of resin to a substrate W, and suppress a device error in a device for closing a lid body.
(FR) Au moins l'une d'une partie de support de substrat latérale 5, d'une partie de support de substrat côté arrière 6, et une partie de support de substrat côté corps de couvercle de ce récipient de logement de substrat de la présente invention est une partie intérieure qui est fixée de manière fixe/détachable à une surface interne d'un corps de récipient 2 et est disposée dans un espace de logement de substrat. La rugosification de surface S est réalisée sur des parties 53, 251, 255, 256 où des éléments comprenant des substrats sont mis en contact les uns avec les autres dans l'espace de logement de substrat. Il est possible de fournir un récipient de logement de substrat qui est capable de supprimer l'apparition de particules et d'adhérer de la résine à un substrat W, et de supprimer une erreur de dispositif dans un dispositif pour fermer un corps de couvercle.
(JA) 基板収納容器の側方基板支持部5、奥側基板支持部6、蓋体側基板支持部のうちの少なくとも1つは、容器本体2の内面に対して着脱可能に固定されて基板収納空間内に配置される内装部である。基板収納空間において基板も含む部材同士が当接し合う部分53、251、255、256には、粗面加工Sが施されている。パーティクルの発生や基板Wへの樹脂付着が抑えられ、また、蓋体を閉める装置において装置エラーを起こすことを抑えることが可能な基板収納容器を提供することができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)