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1. (WO2018179201) 吸着装置、運搬装置、ELデバイス製造装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/179201 国際出願番号: PCT/JP2017/013182
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 30.03.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,B23Q 3/08 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
B 処理操作;運輸
23
工作機械;他に分類されない金属加工
Q
工作機械の細部;構成部分,または付属装置,例.倣いまたは制御装置;特定の細部または構成部分の構造により特徴づけられる工作機械一般;特定の結果を目的としない金属加工機械の組合わせ
3
機械から普通に取外すことのできる種類の工作物または工具の保持,支持または位置決めをする装置
02
ワークテーブル,工具摺動台,または類似物上に取付けるためのもの
06
工作物固定手段
08
機械的作動によらないもの
出願人:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
発明者:
間城 文彦 MASHIRO, Fumihiko; --
代理人:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUCTION APPARATUS, CARRIER APPARATUS, AND EL DEVICE MANUFACTURING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ASPIRATION, APPAREIL SUPPORT ET APPAREIL DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTROLUMINESCENT
(JA) 吸着装置、運搬装置、ELデバイス製造装置
要約:
(EN) Provided is a suction apparatus capable of suppressing deformation of a subject, said deformation being occurred due to suction. A suction apparatus (100) is provided with one or more suction pads, and sucks a lower surface film (10) via the suction pads. The suction pads are formed of a porous material having an average pore diameter of 1.0 μm or less.
(FR) L'invention concerne un appareil d'aspiration apte à supprimer la déformation d'un sujet, ladite déformation étant survenue en raison de l'aspiration. Un appareil d'aspiration (100) est pourvu d'une ou de plusieurs ventouses et aspire un film de surface inférieure (10) par l'intermédiaire des ventouses. Les ventouses sont formées d'un matériau poreux ayant un diamètre de pore moyen de 1,0 µm ou moins.
(JA) 吸着による対象物の変形を抑制できる吸着装置を提供する。 吸着装置(100)は、1つ以上の吸着パッドを備え、下面フィルム(10)を、前記吸着パッドを介して吸着する吸着装置であって、前記吸着パッドは、平均孔径が1.0μm以下である多孔質材料で形成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)