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1. (WO2018179174) 表示デバイスの製造方法、表示デバイスの製造装置、検査装置

Pub. No.:    WO/2018/179174    International Application No.:    PCT/JP2017/013036
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G09F 9/00
G09F 9/30
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: SAKAMOTO, Mayuko
坂本 真由子
SUGA, Katsuyuki
菅 勝行
Title: 表示デバイスの製造方法、表示デバイスの製造装置、検査装置
Abstract:
樹脂層の下面に照射するレーザの強度がばらつくと、レーザ照射によって樹脂層の下面に生じる炭化物の量が多くなり、下面フィルムの接着強度が低下するおそれがある。上記課題を解決するための手段として、透光性の基板(50)上に、樹脂層、TFT層、および発光素子層を含む積層体を形成した後、レーザ剥離装置に用いて、前記基板裏面から樹脂層の下面にレーザを照射し、前記積層体から前記基板を剥離する表示デバイスの製造方法であって、剥離した前記基板(50)の光学特性を測定し、測定結果が閾値を超える場合に所定の工程を行う。