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1. (WO2018179168) 表示デバイス、表示デバイスの製造方法、表示デバイスの製造装置、成膜装置

Pub. No.:    WO/2018/179168    International Application No.:    PCT/JP2017/013012
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G09F 9/30
H01L 27/32
H05B 33/02
H05B 33/04
H05B 33/06
H05B 33/12
H05B 33/14
H05B 33/22
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: YASUDA, Yuki
安田 有希
SUGA, Katsuyuki
菅 勝行
Title: 表示デバイス、表示デバイスの製造方法、表示デバイスの製造装置、成膜装置
Abstract:
支持材(10)と、複数の無機絶縁膜(16・18・20)を含むTFT層(4)と、発光素子層(5)と、封止層(6)とを備える表示デバイス(2)であって、複数の無機絶縁膜(16・18・20)を貫通するスリットパターン(SP)が、平面視における表示領域(DA)の外側かつ支持材のエッジ(10e)の内側に形成されている。