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1. (WO2018179132) 表示デバイスの製造方法、表示デバイス、表示デバイスの製造装置、成膜装置

Pub. No.:    WO/2018/179132    International Application No.:    PCT/JP2017/012886
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05B 33/10
G09F 9/00
G09F 9/30
H01L 27/32
H01L 51/50
H05B 33/06
H05B 33/22
H05B 33/26
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: OKABE, Tohru
岡部 達
TANIYAMA, Hiroki
谷山 博己
GUNJI, Ryosuke
郡司 遼佑
SAIDA, Shinsuke
齋田 信介
JINMURA, Hiroharu
神村 浩治
NAKADA, Yoshihiro
仲田 芳浩
INOUE, Akira
井上 彬
Title: 表示デバイスの製造方法、表示デバイス、表示デバイスの製造装置、成膜装置
Abstract:
アクティブ領域に発光素子を含み、非アクティブ領域に端子(TM)を含む表示デバイスの製造方法であって、アクティブ領域および非アクティブ領域に配され、端子(TM)を覆う導電膜(K)の上に発光素子の電極領域(EA)に重なる第1マスク(M1)と端子(TM)に重なる第2マスク(M2)とを配置し、導電膜(K)をエッチングする。