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1. (WO2018179064) スラリ及び研磨方法

Pub. No.:    WO/2018/179064    International Application No.:    PCT/JP2017/012428
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
C09K 3/14
Applicants: HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.
日立化成株式会社
Inventors: IWANO Tomohiro
岩野 友洋
Title: スラリ及び研磨方法
Abstract:
砥粒と、液状媒体と、を含有し、前記砥粒が、第1の粒子と、当該第1の粒子に接触した第2の粒子と、を含み、前記第1の粒子がセリアを含有し、前記第1の粒子のゼータ電位が負であり、前記第2の粒子が4価金属元素の水酸化物を含有し、前記第2の粒子のゼータ電位が正である、スラリ。