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1. (WO2018179062) 研磨液、研磨液セット、添加液及び研磨方法

Pub. No.:    WO/2018/179062    International Application No.:    PCT/JP2017/012424
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
C09K 3/14
Applicants: HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.
日立化成株式会社
Inventors: IWANO Tomohiro
岩野 友洋
Title: 研磨液、研磨液セット、添加液及び研磨方法
Abstract:
砥粒と、3価希土類元素を含む水溶性化合物と、液状媒体と、を含有し、前記水溶性化合物の含有量が0質量%を超え0.05質量%未満である、研磨液。