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1. (WO2018179061) 研磨液、研磨液セット及び研磨方法

Pub. No.:    WO/2018/179061    International Application No.:    PCT/JP2017/012421
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
C09K 3/14
Applicants: HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.
日立化成株式会社
Inventors: IWANO Tomohiro
岩野 友洋
MATSUMOTO Takaaki
松本 貴彬
HASEGAWA Tomoyasu
長谷川 智康
Title: 研磨液、研磨液セット及び研磨方法
Abstract:
砥粒と、ヒドロキシ酸と、ポリオールと、カチオン性化合物と、液状媒体と、を含有し、前記砥粒のゼータ電位が正であり、前記カチオン性化合物の重量平均分子量が1000未満である、研磨液。