このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018179029) 荷電粒子線システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/179029 国際出願番号: PCT/JP2017/012250
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 27.03.2017
IPC:
H01J 37/244 (2006.01) ,H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
244
検出器;関連の構成要素またはそのための回路
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
22
管と関連した光学または写真装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26
電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28
走査ビームを有するもの
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
山本 昭夫 YAMAMOTO Akio; JP
池田 一樹 IKEDA Kazuki; JP
李 ウェン LI Wen; JP
高橋 弘之 TAKAHASHI Hiroyuki; JP
ホック シャヘドゥル HOQUE Shahedul; JP
水谷 俊介 MIZUTANI Shunsuke; JP
代理人:
青稜特許業務法人 SEIRYO I.P.C.; 東京都中央区八丁堀二丁目24番2号 24-2, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED-PARTICLE BEAM SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線システム
要約:
(EN) This charged-particle beam system comprises: a charged-particle beam device containing a detection unit for detecting electrons generated by irradiating a sample with a charged-particle beam released from a charged particle source; and a signal detection unit in which a detection signal from the detection unit is input through a wiring. The signal detection unit comprises: a separation unit for separating into a rising signal and a falling signal the detection signal from the detection unit; a falling signal processing unit for at least eliminating ringing in the falling signal; and a combination unit generating and delivering a combined signal produced by combining the rising signal, which has been separated by the separation unit, with the falling signal wherefrom the ringing has been eliminating by the falling signal processing unit.
(FR) Ce système de faisceau de particules chargées comprend : un dispositif à faisceau de particules chargées contenant une unité de détection pour détecter des électrons générés par irradiation d'un échantillon avec un faisceau de particules chargées libéré par une source de particules chargées ; et une unité de détection de signal dans laquelle un signal de détection provenant de l'unité de détection est fourni en entrée au moyen d'un câblage. L'unité de détection de signal comprend : une unité de séparation pour séparer en un signal ascendant et en un signal descendant le signal de détection provenant de l'unité de détection ; une unité de traitement de signal descendant pour au moins éliminer une oscillation amortie du signal descendant ; et une unité de combinaison générant et délivrant un signal combiné produit par combinaison du signal ascendant, qui a été séparé par l'unité de séparation, avec le signal descendant à partir duquel l'oscillation amortie a été éliminée par l'unité de traitement de signal descendant.
(JA) 荷電粒子源から放出された荷電粒子線を試料に照射して発生する電子を検出する検出部を含む荷電粒子線装置と、前記検出部の検出信号が配線を介して入力される信号検出部とを有する荷電粒子線システムである。前記信号検出部は、前記検出部の検出信号を、立ち上がり信号と立ち下がり信号とに分離する分離部と、少なくとも前記立ち下がり信号のリンギングを除去する立ち下がり信号処理部と、前記分離部により分離された立ち上がり信号と、前記立ち下がり信号処理部により前記リンギングが除去された立ち下がり信号とを合成した合成信号を生成して出力する合成部とを有する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)