国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018174013) 真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータならびに固定のブレード

Pub. No.:    WO/2018/174013    International Application No.:    PCT/JP2018/010835
Publication Date: Fri Sep 28 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 20 00:59:59 CET 2018
IPC: F04D 19/04
Applicants: EDWARDS JAPAN LIMITED
エドワーズ株式会社
Inventors: NONAKA Manabu
野中 学
ENOSAWA Hideki
江野澤 秀樹
Title: 真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータならびに固定のブレード
Abstract:
【課題】真空ポンプのガス分子排気性能を損なうことなく、真空ポンプから真空チャンバへの粒子の逆流を効果的に防止することができ、逆流の粒子による真空チャンバ内の汚染を防止するのに好適な、真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータならびに固定のブレードを提供する。 【解決手段】真空ポンプは、吸気口から排気口までの間に、ガス分子を排気する手段として機能する複数の排気段PTを有するとともに、複数の排気段PTのうち最上段の排気段PT(PT1)から吸気口までの間に、ガス分子の排気方向に粒子を移送する粒子移送段として、最上段の排気段PT1を構成する回転ブレード7(71、75)と一緒に回転し、かつ、最上段の排気段PT1を構成する回転ブレード7の枚数よりも少ない枚数のブレードNBを備える。