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1. (WO2018173973) 赤外線センサ

Pub. No.:    WO/2018/173973    International Application No.:    PCT/JP2018/010586
Publication Date: Fri Sep 28 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 17 00:59:59 CET 2018
IPC: G01J 1/02
G01J 5/10
Applicants: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
三菱マテリアル株式会社
Inventors: NAKAMURA Kenji
中村 健治
TARI Kazuyoshi
田里 和義
HIRANO Shingo
平野 晋吾
Title: 赤外線センサ
Abstract:
熱バランスの収束を早め、熱応答性を向上させることができる赤外線センサを提供する。本発明に係る赤外線センサは、絶縁性フィルム2と、絶縁性フィルムの一方の面に設けられた第1の感熱素子5A及び第2の感熱素子5Bと、絶縁性フィルムの一方の面に形成された一対の第1の配線6Aと、絶縁性フィルムの一方の面に形成された一対の第2の配線6Bと、絶縁性フィルムの他方の面に設けられ第1の感熱素子に対向した受光領域と、絶縁性フィルムの他方の面に形成され受光領域を避けて少なくとも第2の感熱素子の直上を覆う赤外線反射膜8と、第1の感熱素子に接続され絶縁性フィルムの一方の面にパターン形成された伝熱膜7と、を備え、伝熱膜が、赤外線反射膜の一部に近接した熱結合部Cを有している。