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1. (WO2018173918) 弾性波装置

Pub. No.:    WO/2018/173918    International Application No.:    PCT/JP2018/010227
Publication Date: Fri Sep 28 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018
IPC: H03H 9/145
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: DAIMON, Katsuya
大門 克也
TANIGUCHI, Yasumasa
谷口 康政
Title: 弾性波装置
Abstract:
IDT電極の厚みが大きい場合であっても、エッジ領域の音速を十分に低めることができる、弾性波装置を提供する。 逆速度面が楕円形である圧電性基板2上に、IDT電極3が設けられており、IDT電極3を覆うように誘電体膜13が設けられており、IDT電極3における電極密度(%)をy(%)、IDT電極3の波長規格化膜厚100h/λ(%)をx(%)とした場合、IDT電極3の電極密度yに応じて、IDT電極3の波長規格化膜厚xがy=0.3452x2-6.0964x+36.262…式(1)を満たすx以上とされており、IDT電極3の交差領域が、交差幅方向中央の中央領域と、中央領域の交差幅方向一方外側及び他方外側に設けられた第1,第2のエッジ領域とを有し、第1,第2のエッジ領域上における誘電体膜13の膜厚が、中央領域における誘電体膜13の膜厚に比べて薄くされている、弾性波装置1。