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1. (WO2018173892) プラズマ処理装置

Pub. No.:    WO/2018/173892    International Application No.:    PCT/JP2018/010036
Publication Date: Fri Sep 28 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 15 00:59:59 CET 2018
IPC: H05H 1/46
C23C 16/509
H01L 21/3065
H01L 21/31
Applicants: NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
日新電機株式会社
Inventors: SAKAI, Toshihiko
酒井 敏彦
FUJIWARA, Masaki
藤原 将喜
NAKATA, Seiji
中田 誓治
Title: プラズマ処理装置
Abstract:
直線状をなす複数のアンテナを有するプラズマ処理装置において、アンテナ間に生じるプラズマを抑制してプラズマの均一性を向上する。真空容器(2)内に配置された複数のアンテナ(3)に高周波電流を流すことによって真空容器(2)内にプラズマPを生成し、当該プラズマPを用いて基板Wを処理するプラズマ処理装置(100)であって、複数のアンテナ(3)は、それぞれが直線状をなすとともに、並列に配置されており、互いに隣り合うアンテナ(3)の間には、それらの間におけるプラズマ生成を抑制する誘電体部材(14)がアンテナ(3)に沿って配置されている。