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1. (WO2018173812) イオンビーム機能性透過膜、イオンビーム機能性透過膜を用いたビームライン機器、イオンビーム機能性透過膜を用いたフィルター機器、フィルター機器の調整方法

Pub. No.:    WO/2018/173812    International Application No.:    PCT/JP2018/009288
Publication Date: Fri Sep 28 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 10 00:59:59 CET 2018
IPC: G21K 1/14
G01T 1/185
G21K 1/00
H01J 37/18
H05H 5/06
Applicants: JAPAN ATOMIC ENERGY AGENCY
国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
PESCO CO., LTD.
株式会社ペスコ
Inventors: FUJITA, Natsuko
藤田 奈津子
MATSUBARA, Akihiro
松原 章浩
Title: イオンビーム機能性透過膜、イオンビーム機能性透過膜を用いたビームライン機器、イオンビーム機能性透過膜を用いたフィルター機器、フィルター機器の調整方法
Abstract:
イオンビームの透過率を高めることが可能となり、エミッタンスの改善を図ることができるイオンビーム機能性透過膜を提供するために、本発明に係るイオンビーム機能性透過膜は、一方向に進行するイオンビームが通過するビームライン機器に用いられ、チャネルを有するイオンビーム機能性透過膜であって、チャネル軸が、前記イオンビームの進行方向と実質的に平行であることを特徴とする。