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1. (WO2018173777) ウエハ検査装置及びウエハ検査装置の診断方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/173777 国際出願番号: PCT/JP2018/009012
国際公開日: 27.09.2018 国際出願日: 08.03.2018
IPC:
G01R 31/28 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28
電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED[JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者: KUREBAYASHI, Shinya; JP
代理人: ITOH, Tadashige; JP
ITOH, Tadahiko; JP
優先権情報:
2017-05652322.03.2017JP
発明の名称: (EN) WAFER INSPECTION DEVICE AND METHOD FOR DIAGNOSING WAFER INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE PLAQUETTE ET PROCÉDÉ DE DIAGNOSTIC DE DISPOSITIF D'INSPECTION DE PLAQUETTE
(JA) ウエハ検査装置及びウエハ検査装置の診断方法
要約:
(EN) The wafer inspection device according to one embodiment of the present invention has: a tester that applies an electrical signal to a semiconductor device formed on a wafer; a prober that electrically connects the semiconductor device and the tester to each other; a tester control unit that controls the operations of the tester; and a prober control unit that controls the operations of the prober. In the cases of diagnosing the state of the tester, the tester control unit and the prober control unit communicate with each other.
(FR) La présente invention concerne, selon un mode de réalisation, un dispositif d'inspection de plaquette comprenant : un testeur qui applique un signal électrique à un dispositif à semi-conducteur formé sur une plaquette ; un sondeur qui connecte électriquement le dispositif à semi-conducteur et le testeur l'un à l'autre ; une unité de commande de testeur qui commande les opérations du testeur ; et une unité de commande de sondeur qui commande les opérations du sondeur. Lors d'un diagnostic de l'état du testeur, l'unité de commande de testeur et l'unité de commande de sondeur communiquent l'une avec l'autre.
(JA) 一実施形態のウエハ検査装置は、ウエハに形成された半導体デバイスに電気信号を印加するテスタと、前記半導体デバイスと前記テスタとを電気的に接続させるプローバと、前記テスタの動作を制御するテスタ制御部と、前記プローバの動作を制御するプローバ制御部と、を有し、前記テスタの状態を診断する場合に、前記テスタ制御部及び前記プローバ制御部が相互に通信を行う。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)