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1. (WO2018173371) 描画装置および描画方法
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国際公開番号: WO/2018/173371 国際出願番号: PCT/JP2017/043021
国際公開日: 27.09.2018 国際出願日: 30.11.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H05K 3/00 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
H 電気
05
他に分類されない電気技術
K
印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
3
印刷回路を製造するための装置または方法
出願人:
株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1番地の1 Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
発明者:
長尾 竜也 NAGAO, Tatsuya; JP
乘光 良直 NORIMITSU, Yoshinao; JP
中井 一博 NAKAI, Kazuhiro; JP
北村 清志 KITAMURA, Kiyoshi; JP
代理人:
松阪 正弘 MATSUSAKA, Masahiro; JP
田中 勉 TANAKA, Tsutomu; JP
井田 正道 IDA, Masamichi; JP
優先権情報:
2017-05891224.03.2017JP
発明の名称: (EN) DRAWING DEVICE AND DRAWING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE TRACÉ
(JA) 描画装置および描画方法
要約:
(EN) A light modulation unit (46) of a drawing device (1) modulates light from a light source (43). A scanning mechanism (2) scans a substrate (9) with the light modulated by the light modulation unit (46). A control unit (6) controls the light modulation unit (46) and the scanning mechanism (2) on the basis of drawing data to execute drawing on the substrate (9). The control unit (6) is provided with a storage unit and a data generation unit. The storage unit stores in advance, for a plurality of ratios of expansion and contraction representing the degrees of expansion and contraction of the substrate (9) from a reference state, run-length data on images when drawing is performed on the substrate (9) that is expanded and contracted at the respective ratios of expansion and contraction, as a plurality of pieces of initial drawing data. The data generation unit generates the drawing data by using selected drawing data that is initial drawing data selected from among the plurality of pieces of initial drawing data on the basis of an actual ratio of expansion and contraction of the substrate (9). As a result, drawing on the expanded or contracted substrate (9) can be rapidly and accurately performed.
(FR) L'invention concerne une unité (46) de modulation de lumière d'un dispositif (1) de tracé qui module une lumière provenant d'une source lumineuse (43). Un mécanisme (2) de balayage balaie un substrat (9) avec la lumière modulée par l'unité (46) de modulation de lumière. Une unité (6) de commande assure la commande de l'unité (46) de modulation de lumière et du mécanisme (2) de balayage d'après des données de tracé pour exécuter un tracé sur le substrat (9). L'unité (6) de commande est munie d'une unité de stockage et d'une unité de génération de données. L'unité de stockage stocke à l'avance, pour une pluralité de rapports de dilatation et de contraction représentant les degrés de dilatation et de contraction du substrat (9) par rapport à un état de référence, des données de longueur de course sur des images lorsque le tracé est effectué sur le substrat (9) qui est dilaté et contracté aux rapports respectifs de dilatation et de contraction, sous la forme d'une pluralité d'éléments de données initiales de tracé. L'unité de génération de données génère les données de tracé en utilisant des données de tracé sélectionnées qui sont des données initiales de tracé sélectionnées parmi la pluralité d'éléments de données initiales de tracé d'après un rapport réel de dilatation et de contraction du substrat (9). Par conséquent, le tracé sur le substrat (9) dilaté ou contracté peut être effectué rapidement et avec exactitude.
(JA) 描画装置(1)の光変調部(46)は、光源(43)からの光を変調する。走査機構(2)は、光変調部(46)により変調された光を基板(9)上にて走査する。制御部(6)は、描画データに基づいて光変調部(46)および走査機構(2)を制御することにより、基板(9)に対する描画を実行させる。制御部(6)は、記憶部と、データ生成部とを備える。記憶部は、基準状態からの基板(9)の伸縮の程度を示す複数の伸縮率について、各伸縮率にて伸縮している基板(9)に対して描画が行われる場合の画像のランレングスデータを、複数の初期描画データとして予め記憶する。データ生成部は、基板(9)の実際の伸縮率に基づいて複数の初期描画データから選択された1つの初期描画データである選択描画データを利用して、上記描画データを生成する。これにより、伸縮した基板(9)に対する描画を迅速かつ精度良く行うことができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)