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1. (WO2018173347) 電磁波検出器、電磁波検出器アレイおよび電磁波検出方法
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国際公開番号: WO/2018/173347 国際出願番号: PCT/JP2017/037817
国際公開日: 27.09.2018 国際出願日: 19.10.2017
IPC:
G01J 1/02 (2006.01) ,H01L 31/0248 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
J
赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
1
測光,例.写真の露出計
02
細部
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
0248
半導体本体に特徴のあるもの
出願人:
三菱電機株式会社 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008310, JP
発明者:
嶋谷 政彰 SHIMATANI, Masaaki; JP
小川 新平 OGAWA, Shimpei; JP
藤澤 大介 FUJISAWA, Daisuke; JP
奥田 聡志 OKUDA, Satoshi; JP
代理人:
鮫島 睦 SAMEJIMA, Mutsumi; JP
中野 晴夫 NAKANO, Haruo; JP
優先権情報:
2017-05539922.03.2017JP
発明の名称: (EN) ELECTROMAGNETIC WAVE DETECTOR, ELECTROMAGNETIC WAVE DETECTOR ARRAY, AND ELECTROMAGNETIC WAVE DETECTION METHOD
(FR) DÉTECTEUR D'ONDES ÉLECTROMAGNÉTIQUES, RÉSEAU DE DÉTECTEURS D'ONDES ÉLECTROMAGNÉTIQUES ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'ONDES ÉLECTROMAGNÉTIQUES
(JA) 電磁波検出器、電磁波検出器アレイおよび電磁波検出方法
要約:
(EN) This electromagnetic wave detector is provided with light reception graphene and reference graphene that are aligned on an insulating layer, first electrodes and second electrodes that are disposed so as to oppose each other and sandwich the light reception graphene and reference graphene, a gate electrode for applying a gate voltage to the light reception graphene and reference graphene, and a balanced circuit and detection circuit that are connected between the second electrodes. If electromagnetic waves are incident on the light reception graphene, photocarriers will be generated through in-band transition. If electromagnetic waves are incident on the reference graphene, photocarriers will not be generated because of the Pauli blocking effect. In a state where no electromagnetic waves are incident on the light reception graphene or reference graphene, the balanced circuit causes the first electrodes and second electrodes to have the same potential. The electrical signal between the second electrodes is detected in a state where electromagnetic waves are incident on the light reception graphene and reference graphene.
(FR) La présente invention concerne un détecteur d'ondes électromagnétiques qui est pourvu de graphène de réception de lumière et de graphène de référence qui sont alignés sur une couche isolante, de premières électrodes et de deuxièmes électrodes qui sont disposées de façon à se faire mutuellement face et prendre en sandwich le graphène de réception de lumière et le graphène de référence, une électrode de grille pour appliquer une tension de grille au graphène de réception de lumière et au graphène de référence, et un circuit équilibré et un circuit de détection qui sont connectés entre les deuxièmes électrodes. Si des ondes électromagnétiques sont incidentes sur le graphène de réception de lumière, des photoporteurs seront générés par transition intrabande. Si des ondes électromagnétiques sont incidentes sur le graphène de référence, des photoporteurs ne seront pas générés en raison de l'effet de blocage de Pauli. Dans un état dans lequel aucune onde électromagnétique n'est incidente sur le graphène de réception de lumière ou le graphène de référence, le circuit équilibré amène les premières électrodes et les deuxièmes électrodes à avoir le même potentiel. Le signal électrique entre les deuxièmes électrodes est détecté dans un état dans lequel des ondes électromagnétiques sont incidentes sur le graphène de réception de lumière et le graphène de référence.
(JA) 電磁波検出器は、絶縁層の上に並置された受光グラフェンおよび参照グラフェンと、これを挟んで対向配置された第1電極および第2電極と、受光グラフェンおよび参照グラフェンにゲート電圧を印加するゲート電極と、第2電極の間に接続された平衡回路と検出回路とを含み、受光グラフェンは、電磁波が入射した場合にバンド内遷移により光キャリアが発生し、参照グラフェンは、電磁波が入射した場合にパウリブロッキング効果により光キャリアが発生せず、受光グラフェンおよび参照グラフェンに電磁波が入射しない状態で、平衡回路は、第1電極と第2電極を同一電位にし、受光グラフェンおよび参照グラフェンに電磁波が入射した状態で、第2電極の間の電気信号を検出する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)