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1. (WO2018173321) 真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータ
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国際公開番号: WO/2018/173321 国際出願番号: PCT/JP2017/032068
国際公開日: 27.09.2018 国際出願日: 06.09.2017
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D
非容積形ポンプ
19
特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02
多段ポンプ
04
高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
出願人:
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
発明者:
野中 学 NONAKA Manabu; JP
江野澤 秀樹 ENOSAWA Hideki; JP
優先権情報:
2017-05686223.03.2017JP
発明の名称: (EN) VACUUM PUMP, AND BLADE COMPONENT AND ROTOR FOR USE IN VACUUM PUMP
(FR) POMPE À VIDE ET ÉLÉMENT DE PALE ET ROTOR DESTINÉS À ÊTRE UTILISÉS DANS UNE POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータ
要約:
(EN) [Problem] To provide: a vacuum pump that can effectively prevent backflow of particles from the vacuum pump to a vacuum chamber, without the gas molecule exhaust performance of the vacuum pump being impaired, and that is ideal for preventing contamination of the inside of the vacuum chamber by backflow particles; and a blade component and a rotor for use in the vacuum pump. [Solution] A vacuum pump that has, between an intake port and an exhaust port, a plurality of exhaust stages PT that function as means for expelling gas molecules. Between the intake port and an uppermost exhaust stage PT (PT1) of the plurality of exhaust stages PT, the vacuum pump has, as particle transport means that transport particles in the direction in which the gas molecules are expelled, blades NB that: rotate with rotary blades 7 (71, 75) that constitute the uppermost exhaust stage PT1; and number fewer than the rotary blades 7 that constitute the uppermost exhaust stage PT1.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir : une pompe à vide qui peut empêcher efficacement un reflux de particules en provenance de la pompe à vide vers une chambre à vide, sans que les performances d'échappement des molécules de gaz de la pompe à vide soient altérées, et qui est idéale pour empêcher la contamination de l'intérieur de la chambre à vide par des particules de reflux; et un élément de pale et un rotor destinés à être utilisés dans la pompe à vide. La solution selon l'invention porte sur une pompe à vide qui a, entre un orifice d'admission et un orifice d'échappement, une pluralité d'étages d'échappement (PT) qui fonctionnent comme des moyens pour expulser des molécules de gaz. Entre l'orifice d'admission et un étage d'échappement (PT) le plus élevé (PT1) parmi la pluralité d'étages d'échappement (PT), la pompe à vide a, en tant que moyen de transport de particules qui transporte des particules dans la direction dans laquelle les molécules de gaz sont expulsées, des pales (NB) qui : tournent avec des pales rotatives (7) (71, 75) qui constituent l'étage d'échappement le plus élevé (PT1); et un nombre inférieur à celui des pales rotatives (7) qui constituent l'étage d'échappement le plus élevé (PT1).
(JA) 【課題】真空ポンプのガス分子排気性能を損なうことなく、真空ポンプから真空チャンバへの粒子の逆流を効果的に防止することができ、逆流の粒子による真空チャンバ内の汚染を防止するのに好適な、真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータを提供する。 【解決手段】真空ポンプは、吸気口から排気口までの間に、ガス分子を排気する手段として機能する複数の排気段PTを有するとともに、複数の排気段PTのうち最上段の排気段PT(PT1)から吸気口までの間に、ガス分子の排気方向に粒子を移送する粒子移送段として、最上段の排気段PT1を構成する回転ブレード7(71、75)と一緒に回転し、かつ、最上段の排気段PT1を構成する回転ブレード7の枚数よりも少ない枚数のブレードNBを備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)