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1. (WO2018169073) AlNウィスカーの製造方法および製造装置およびAlNウィスカー構造体およびAlNウィスカーならびに樹脂成形体とその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/169073    International Application No.:    PCT/JP2018/010588
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 17 00:59:59 CET 2018
IPC: C30B 29/62
C04B 35/581
C30B 29/38
Applicants: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NAGOYA UNIVERSITY
国立大学法人名古屋大学
Inventors: UJIHARA Toru
宇治原 徹
TAKEUCHI Yukihisa
竹内 幸久
SHIOJIRI Daishi
塩尻 大士
MATSUMOTO Masaki
松本 昌樹
SAITO Hiroshi
齊藤 廣志
HAYASHI Ikuo
林 育夫
Title: AlNウィスカーの製造方法および製造装置およびAlNウィスカー構造体およびAlNウィスカーならびに樹脂成形体とその製造方法
Abstract:
本技術の目的は、金属粒子の混入を抑制することを図ったAlNウィスカーの製造方法および製造装置およびAlNウィスカー構造体およびAlNウィスカーならびに樹脂成形体とその製造方法を提供することである。このAlNウィスカーの製造方法においては、材料収容部(1200)の内部でAl含有材料を加熱してAlガスを発生させ、連通部(1220)から反応室(1300)にAlガスを導入するとともにガス導入口(1320)から反応室(1300)に窒素ガスを導入し、反応室(1300)の内部に配置されたAl2 O3 基板(1310)の表面からAlNウィスカー(100)を成長させる。