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1. (WO2018169008) 脆性材料加工液

Pub. No.:    WO/2018/169008    International Application No.:    PCT/JP2018/010249
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018
IPC: C10M 173/02
B24B 27/06
B28D 5/04
C10M 129/08
C10M 145/26
C10N 20/00
C10N 30/00
C10N 30/18
C10N 40/22
H01L 21/304
Applicants: IDEMITSU KOSAN CO.,LTD.
出光興産株式会社
Inventors: KITAMURA, Tomohiko
北村 友彦
Title: 脆性材料加工液
Abstract:
水と、(A):HLB値が4以上12以下であるアセチレングリコール、及びHLB値が4以上12以下であるアセチレングリコールのアルキレンオキサイド付加物からなる群より選ばれる1種以上と、(B):HLB値が6以上であり、分子構造中のエチレンオキサイドの付加モル数が5以上であるエチレンオキサイド付加物であって、かつアセチレン基を有しない非イオン界面活性剤とを含み、成分(A)の含有量が、脆性材料加工液の全量100質量%基準で、0.010質量%以上0.200質量%以下であり、成分(B)の含有量が、脆性材料加工液の全量100質量%基準で、0.020質量%以上0.500質量%以下であり、かつ成分(A)と成分(B)との含有量比〔A/B〕が、質量比で0.05以上2.00以下である、脆性材料加工液、及び該脆性材料加工液の製造方法に関する。