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1. (WO2018168728) レーザ加工装置
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国際公開番号: WO/2018/168728 国際出願番号: PCT/JP2018/009373
国際公開日: 20.09.2018 国際出願日: 12.03.2018
IPC:
B23K 26/00 (2014.01) ,H01L 21/268 (2006.01)
B 処理操作;運輸
23
工作機械;他に分類されない金属加工
K
ハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
26
レーザービームによる加工,例.溶接,切断,穴あけ
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
26
波または粒子の輻射線の照射
263
高エネルギーの輻射線を有するもの
268
電磁波,例.レーザ光線,を用いるもの
出願人:
住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 東京都品川区大崎二丁目1番1号 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1416025, JP
発明者:
田中 哲平 TANAKA, Teppei; JP
相澤 賢 AIZAWA, Satoshi; JP
相場 健 AIBA, Takeshi; JP
代理人:
荒船 博司 ARAFUNE, Hiroshi; JP
荒船 良男 ARAFUNE, Yoshio; JP
優先権情報:
2017-04694813.03.2017JP
2017-05682723.03.2017JP
2017-05682823.03.2017JP
発明の名称: (EN) LASER MACHINING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'USINAGE AU LASER
(JA) レーザ加工装置
要約:
(EN) A laser machining device (101) that can realize easy and appropriate inspection of items used in laser machining. The laser machining device (101) includes a heat radiation measuring unit (126) that measures the strength of heat radiation from an object to be machined, which is irradiated with the laser light, and a determination unit (11) that determines the condition of a target item (41), which is an item used in machining, based on the strength of the heat radiation measured by the heat radiation measuring unit (126).
(FR) Dispositif d'usinage au laser (101) qui peut réaliser une inspection facile et appropriée d'articles utilisés dans l'usinage au laser. Le dispositif d'usinage laser (101) comprend une unité de mesure de rayonnement thermique (126) qui mesure l'intensité de rayonnement thermique provenant d'un objet à usiner, qui est exposé à la lumière laser, et une unité de détermination (11) qui détermine l'état d'un article cible (41), qui est un article utilisé dans l'usinage, sur la base de l'intensité du rayonnement thermique mesuré par l'unité de mesure de rayonnement thermique (126).
(JA) レーザ加工で使用する物に対して容易で適切な検査を実現できるレーザ加工装置(101)を提供する。このレーザ加工装置(101)は、レーザ光が照射された加工対象物の熱輻射の強度を測定する熱輻射測定部(126)と、加工に使用する物を対象物(41)として対象物(41)の状態を熱輻射測定部(126)により測定された熱輻射の強度に基づいて判定する判定部(11)と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)