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1. (WO2018168673) 赤外線センサ

Pub. No.:    WO/2018/168673    International Application No.:    PCT/JP2018/009148
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 10 00:59:59 CET 2018
IPC: G01J 1/02
Applicants: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
三菱マテリアル株式会社
Inventors: HIRANO Shingo
平野 晋吾
SHIRATA Keiji
白田 敬治
Title: 赤外線センサ
Abstract:
ステム部材等の側方からの赤外線の影響を抑制し、検出精度の低下を抑制することができる赤外線センサを提供する。本発明に係る赤外線センサは、下部センサ部材2と、下部センサ部材上の中間実装部材3と、中間実装部材上の上部センサ部材4とを備え、下部センサ部材が、中間実装部材下面に設置された絶縁性基板8と、絶縁性基板上面に設けられた補償用感熱素子9と、絶縁性基板上面に形成された下部パターン配線とを備え、上部センサ部材が、中間実装部材上面に設置された絶縁性フィルムと、絶縁性フィルム下面に設けられた検出用感熱素子12と、絶縁性フィルム下面に形成された上部パターン配線とを備え、中間実装部材が、素子収納孔Hを有した実装部材本体14を備え、補償用感熱素子が素子収納孔の下部開口部に配されていると共に、検出用感熱素子が素子収納孔の上部開口部に配され、互いに対向配置されている。