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1. (WO2018168663) 赤外線センサ

Pub. No.:    WO/2018/168663    International Application No.:    PCT/JP2018/009090
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018
IPC: G01J 1/02
G01J 5/02
H01L 35/00
Applicants: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
三菱マテリアル株式会社
Inventors: HIRANO Shingo
平野 晋吾
SHIRATA Keiji
白田 敬治
Title: 赤外線センサ
Abstract:
下方の基板やステム部材からの赤外線や熱の影響を抑制し、検出精度の低下を抑制することができる赤外線センサを提供する。本発明に係る赤外線センサは、下部配線基板11と、下部配線基板上に設置されたセンサ実装部材12と、センサ実装部材上に設置された赤外線センサ本体13とを備え、赤外線センサ本体が、絶縁性基板2と、絶縁性基板に設けられた感熱素子3A,3Bと、絶縁性基板に形成された上部パターン配線とを備え、センサ実装部材が、実装部材本体と、接続部材とを備え、下部配線基板が、四角形状に形成され、センサ実装部材が、互いに平行な2辺12aを有する四角形状又は略四角形状に形成されていると共に、下部配線基板と中心軸Cが一致した状態で前記平行な2辺が下部配線基板の対角線L1の一つに平行に配されて設置され、下部配線基板の角部が、平面視でセンサ実装部材の前記平行な2辺から突出している。