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1. (WO2018168635) 三次元スキャナ、およびプローブ

Pub. No.:    WO/2018/168635    International Application No.:    PCT/JP2018/008961
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018
IPC: G01B 11/24
G01B 11/25
G02B 7/28
Applicants: J. MORITA MFG. CORP.
株式会社モリタ製作所
Inventors: SORIMOTO, Keisuke
反本 啓介
Title: 三次元スキャナ、およびプローブ
Abstract:
本発明は、焦点可変部の状態を正確に把握して精度の良い三次元形状を取得することができる三次元スキャナ、およびプローブを提供する。本発明は、対象物の形状情報を取得する三次元スキャナである。三次元スキャナは、光源部(81)と、焦点可変部(82)と、基準部(83)と、光路長調整部(84)と、光学センサ(85)と、制御部とを備えている。焦点可変部(82)は、焦点位置を変化させることが可能であって、光源部(81)から対象物(200)を経て光学センサ(85)に至る光、および光源部(81)から基準部(83)を経て光学センサ(85)に至る光のそれぞれが少なくとも1度通過する。制御部は、基準部(83)で反射し、光学センサ(85)の一部で検出した光に基づいて焦点可変部(82)の状態を判定し、判定した焦点可変部(82)の状態の情報を用いて、光学センサ(85)で検出した光から対象物(200)の形状情報を演算する。