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1. (WO2018168510) 円筒体表面検査装置および円筒体表面検査方法

Pub. No.:    WO/2018/168510    International Application No.:    PCT/JP2018/007917
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 03 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 21/952
G01B 11/30
G06T 1/00
Applicants: TORAY INDUSTRIES, INC.
東レ株式会社
Inventors: SUGIHARA, Hiroki
杉原 洋樹
Title: 円筒体表面検査装置および円筒体表面検査方法
Abstract:
本発明の目的は、円筒体の表面と検査装置との相対位置が変化したとしても、安定かつ高精度に検査することが可能な円筒体表面検査装置を提供することにある。本発明は、円筒体(1)に対して光を照射する光照射部(5)、円筒体の表面で反射した光を受光する位置に配置された2次元撮像部(6)、2次元画像データ(8)において円筒体の周方向に対応する第1の方向の走査位置(PA)を決定する走査位置決定部(7a)、走査位置(PA)における第1の方向と垂直な第2の方向の画像データを取り出し、各画像データを時系列順に第1の方向に並べて時系列走査画像を生成する時系列走査画像生成部(7b)、および、時系列走査画像を検査して欠点(4)を検出する検査部(7c)、で構成される。走査位置決定部(7a)は、輝度プロファイル作成部(71)と、輝度の最も高いピーク位置(10)を算出する輝度ピーク位置算出部(72)と、ピーク位置(10)の輝度を計測する輝度計測部(73)と、輝度のプロファイル(9)から、前記ピーク位置(10)の輝度にあらかじめ定めた1未満の係数倍値を掛けた輝度となる位置を算出する輝度低下位置算出部(74)と、前記算出された位置を走査位置(PA)として保持する走査位置保持部(75)と、を有する。