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1. (WO2018168263) 検査装置の診断方法および検査システム

Pub. No.:    WO/2018/168263    International Application No.:    PCT/JP2018/004178
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 08 00:59:59 CET 2018
IPC: G01R 31/28
G01R 31/04
G01R 31/26
H01L 21/66
H01R 43/00
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: UEDA Masanori
上田 真徳
Title: 検査装置の診断方法および検査システム
Abstract:
基板を載置するステージと、基板に形成された複数のデバイスにプローブを接触させるプローブカードを装着する装着部と、装着部に装着されたプローブカードを介して前記基板に形成された複数のデバイスに電気的信号を与え、デバイスの電気特性を検査するテスタと、テスタとプローブカードとの間に設けられ、テスタおよび前記プローブカードにそれぞれ電気的に接続される複数のコネクタを有し、これらを接続する接続部材と、を備える検査装置において、複数のコネクタの自己診断を行う。この際の自己診断方法は、プローブカードの代わりに診断基板を装着することと、診断基板を装着後、診断基板と接続部材の複数のコネクタとの接触を安定化させる安定化処理を実施することと、安定化処理の後、複数のコネクタの診断を行うこととを有する。