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1. (WO2018168151) 焦電センサ

Pub. No.:    WO/2018/168151    International Application No.:    PCT/JP2017/046480
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 26 00:59:59 CET 2017
IPC: G01J 1/02
G01J 1/04
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: FUJII, Takamichi
藤井 隆満
Title: 焦電センサ
Abstract:
Si基板と、Si基板の一面に、その一面側から無機材料からなる熱吸収層、下部電極、圧電体膜および上部電極がこの順に積層されてなる積層部と、Si基板の他面の積層部に対向する位置に備えられた、赤外線を選択的に透過させる光学フィルタとを有し、光学フィルタ側からSi基板を経て積層部に入射される赤外線を感知する焦電センサとする。