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1. (WO2018168014) 酸化剤濃度測定装置及び酸化剤濃度測定方法

Pub. No.:    WO/2018/168014    International Application No.:    PCT/JP2017/032792
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 13 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 31/00
G01N 31/12
Applicants: KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
栗田工業株式会社
Inventors: IDA Junichi
井田 純一
OGAWA Yuichi
小川 祐一
Title: 酸化剤濃度測定装置及び酸化剤濃度測定方法
Abstract:
酸化剤濃度測定装置10は、流量が所定値に制御された試料液に対して流量が所定値に制御されたガスを供給するガス供給手段1と、ガス供給手段1でガスが供給された後の試料液中の酸化剤を熱分解する熱分解手段2と、熱分解手段2で発生した酸素ガスを含む気体成分の流量を測定するガス流量測定手段5と、ガスの流量の所定値とガス流量測定手段5で得られた酸素ガスを含む気体成分の流量の測定値とに基づき、試料液中の酸化剤の濃度を算出する演算手段6とを備える。かかる酸化剤濃度測定装置10及びこれを用いた酸化剤濃度測定方法によれば、電子材料の洗浄工程などで使用される洗浄液中の酸化剤濃度を、金属成分等の不純物の影響を受けずに、簡便かつ正確に測定することができるとともに、安定的な連続モニタリングが可能となる。