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1. (WO2018167965) 欠陥観察装置及び欠陥観察方法

Pub. No.:    WO/2018/167965    International Application No.:    PCT/JP2017/011018
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 18 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/66
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: KONDO Naoaki
近藤 直明
HARADA Minoru
原田 実
TAKAGI Yuji
高木 裕治
HIRAI Takehiro
平井 大博
Title: 欠陥観察装置及び欠陥観察方法
Abstract:
試料の複数の欠陥候補の中から、欠陥判定の対象である第1の欠陥候補が存在する第1の撮像視野領域内の回路パターンと一部が重複する回路パターンを、前記第1の撮像視野領域と重なる複数の第2の撮像視野領域内にそれぞれ有する複数の第2の欠陥候補の座標を重複欠陥候補座標として求める欠陥判定用座標作成部と、複数の前記重複欠陥候補座標においてそれぞれ撮像した複数の画像を重ね合わせて、前記第1の欠陥候補の回路パターンを含む擬似参照画像を生成する擬似参照画像生成部と、前記第1の欠陥候補の座標において撮像した欠陥判定対象画像と前記擬似参照画像とを比較して、前記欠陥判定対象画像内の欠陥の有無を判定する欠陥判定部とを有する欠陥観察装置。